主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
分类号 描述
C 化学;冶金
C30 晶体生长
C30B 单晶生长
C30B25-00 反应气体化学反应法的单晶生长,例如化学气相沉积生长
C30B25-02 .外延层生长
C30B25-04 ..图案沉积,例如使用掩膜的
C30B25-06 ..反应溅射法的
C30B25-08 ..反应室;其所用材料的选择
C30B25-10 ..反应室或衬底的加热
C30B25-12 ..衬底夹持器或基座
C30B25-14 ..气体供给或排出用的装置;反应气流的变换
C30B25-16 ..控制或调节
C30B25-18 ..以衬底为特征的
C30B25-22 ..夹层的工艺方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top