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H 电学
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H 电学
H01 基本电气元件
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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H01L21-673 ..使用专用的载体的
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H01L21-677 ..用于传送的，例如在不同的工作站之间
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H01L21-68 ..用于定位、定向或对准的
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H01L21-683 ..用于支承或夹紧的
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