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分类号	描述

H	电学

H01	基本电气元件		查看

H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件		查看

H01L21-00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备		查看

H01L21-67	.专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置		查看

H01L21-683	..用于支承或夹紧的		查看

	H01L21-687	...使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子	查看

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