[发明专利]输电系统

权利要求书

1、工业RF处理系统中RF能量特性的测试设备，包括：

多个发电装置，用于产生多个电功率输出到单根输电装置，在多个频率，所述多个输出中的每个输出有相关的特性；和

公用检测装置，用于检测所述多个输出的所述相关特性，所述公用检测装置包括：读出装置，读出第1频率下产生的第1输出的所述有关特性，换到第2频率，读出在第2频率下产生的所述第2输出的所述相关特性。

2、按权利要求1的设备，其中，所述RF处理系统包括半导体处理系统。

3、按权利要求1的设备，其中，所述RF处理系统包括光盘处理系统。

4、按权利要求1的设备，其中，所述多个输出的所述相关特性包括：电流、电压和相位。

5、按权利要求1的设备，还包括组合装置，有效地连接到所述多个发电装置，组合所述的多个输出到单根输送装置上。

6、按权利要求1的设备，其中，所述多个发电装置包括两个发电装置；所述多个频率包括两个频率。

7、按权利要求1的设备，其中，所述多个频率是不同的频率。

8、按权利要求1的设备，其中，所述的多个频率之一包括2MHz。

9、按权利要求1的设备，其中，所述的多个频率之一包括27MHz。

10、按权利要求1的设备，其中，所述的多个频率包括第1和第2频率，所述第2频率是所述第1频率的谐波频率。

11、按权利要求1的设备，还包括存储装置，它有效连接到所述公用检测装置，用于存储由所述公用检测装置提供的数据，所述公用检测装置包括输送装置，把第1频率下产生的第1电功率输出的所述相关特性的读出值输送到所述存储装置，把所读出的值作为数据存储。

12、工业RF处理系统中输出的RF能量的特性测试方法，包括：

在第1频率产生第1电功率输出到输送装置上，所述第1电功率输出有相关特性；

在第2频率产生第2电功率输出到输送装置上，所述第2电功率输出有相关特性；

读出在所述第1频率下的所述输出装置上的所述相关特性；

换到所述第2频率；和

用读出所述第1频率的公用读出装置，读出所述第2频率下的所述输出装置上的所述相关特性。

13、按权利要求12的方法，其中，所述RF处理系统包括半导体处理系统。

14、按权利要求12的方法，其中，所述RF处理系统包括光盘处理系统。

15、按权利要求12的方法，其中，所述相关特性包括电压、电流和相位。

16、按权利要求12的方法，还包括组合步骤，组合所述第1和第2电功率输出到单个输送装置上。

17、按权利要求12的方法，还包括存储步骤，存储在所述第1频率产生的所述第1电功率输出的所述的读出的相关特性。

18、按权利要求12的方法，还包括存储步骤，存储在所述第2频率产生的所述第2电功率输出的所述的读出的相关特性。

19、按权利要求12的方法，其中，所述第1和第2频率是不同的。

20、按权利要求12的方法，其中，所述第1频率包括2MHz。

21、按权利要求12的方法，其中，所述第2频率包括27MHz。

22、按权利要求12的方法，其中，所述第2频率是所述第1频率的谐波频率。

23、工业RF处理系统中输出的RF能量的特性测试设备，包括：

多个发电装置，用于在多个频率下产生多个电功率输出到单个输送装置上，所述多个输出中的每个输出都有相关特性；

多个调谐装置，用于调谐到所述多个频率；

公用检测装置，选择所述多个调谐装置之一，并检测所选的调谐装置的第1频率下的所述多个输出的所述相关特性。

24、按权利要求23的设备，其中，所述RF处理系统包括半导体处理系统。

25、按权利要求23的设备，其中，所述RF处理系统包括光盘处理系统。