[发明专利]输电系统

说明书

本发明涉及等离子室内的数据测试，更具体涉及等离子室内不同频率的多变量测试。

包括等离子发生的常规应用中，常常要监测从发电机进入等离子室的电压、电流和相位。而且，很多常规的等离子发生应用，包括用两个或两个以上的发电机，其中，发电机按不同频率发电。通常，这些常规发电机按2MHz和27MHz供电。

为了测试供给等离子室的电压、电流和相位，通常使用已知的设备，如射频(RF)探头。但是，由于RF探头的尺寸和价格问题，要求只用一个探头来测试不同频率的上述参数。

本发明的第1实施例中公开了工业RF处理系统中输出的RF能量的特性的测试设备。该设备包括多个发电机，发生多个频率的多个电能输出到单个输电线上。检测多个输出的相关特性的检测计，读出在第1频率产生的第1输出的相关特性，换到第2频率，读出在第2频率产生的第2输出的相关特性。

本发明的第2实施例中公开了工业RF处理系统输出的RF能量的特性的测试方法。该方法包括产生在第1频率的第1电功率输出到输电线，产生在第2频率的第2电功率输出到输电线，读出在第1频率的输电线上的相关特性，换到第2频率，并读出在第2频率的输电线上的相关特性。用公用的读出装置读出第1频率。

本发明第3实施例公开了工业RF处理系统输出的RF能量的特性测试设备。该设备包括：多个发电机，产生多个电功率输出到单根输电线上；多个调谐器，调谐到多个频率；和检测器，选择多个调谐器中的一个，并检测在所选的调谐装置的频率下的多个输出的相关特性。

本发明第4实施例公开了工业RF处理系统中输送的RF能量的特性测试方法。该方法包括：在第1频率产生第1电功率输出到输电线上；在第2频率产生第2电功率输出到输电线上；第1调谐器换到第1频率，第2调谐器换到第2频率，选择调谐器中的一个，并读出与所选择的调谐器相关的频率下的输电线上的相关特性。

图1是本发明的总方框图；

图2是本系统的流程图；

图3是本发明第1替换实施例的方框图；

图4是本发明第2替换实施例的方框图；

现在详细参见附图，首先看图1，图1画出了按本发明优选实施例的系统整体的总览图。本发明可用于测试工业RF处理系统中输出的RF能量的特性。优选实施例中，它可用在工业半导体处理系统中，如等离子室中。但是，实际上它也可用在需要测RF特性的任何地方。例如，本发明也可用在光盘制造中。

图1所示的整个结构中最好包括第1发电装置100，产生沿输出路径165的第1频率下的电功率输出；第2发电装置110，产生沿分开的输出路径160的第2频率下的电功率输出；组合装置120，组合从路径160和165来的两个输出功率，检测装置130，用于检测从发电装置输出的电功率在给定频率下的特性，如电压，电流和相位；储存装置180，和计算机190，用于接收和储存来自检测装置130的数据；和等离子室150。发电装置100和110，组合装置120，检测装置130，储存装置180，计算机190，等离子室150都可以是合适的常规市售元件。例如，发电装置100，110可以是合适的市售RF发电机，如OEM-12b型RF发电机，可从ENI购买。组合装置120可以是合适的市售的能把多个频率下的RF能量组合到单根功率线上的电子电路。例如，可用市售的高通/低通组合滤波器。储存装置180可以是能存储从检测装置130输出的数据的常规存储器中的磁存储器，光存储器(如DVD-随机存取存储器，或CDR)，半导体存储器或其它类型的存储器。同样，计算机190也可以是任何市售的能与检测装置130连接的计算机。而有，存储装置180和计算机装置190可以是单独的单元，如连接到计算机的磁盘阵列，或者，也可以是单个单元，如，能容纳存储媒体的计算机。检测装置也可以是V/I-探头，可从ENI购买。等离子室150也可以是任何合适的市售等离子室，如可从Lam Ressearch或AppliedMaterials购到的等离子室。输送装置170可以是任何合适的能传输从发电装置输出的电功率的装置，例如电源线或50Ω同轴电缆。

如上所述，尽管输送装置170上有多个频率，但要求只用一个RF探头检测供给等离子室的相位、电压和电流。