[发明专利]制造具有透明导电膜的设备

权利要求书

1、一种用于制造具有透明导电膜的基底的设备，该设备包括：

一保持部件，用于保持一绝缘基底；

第一承载装置，用于支持所述保持部件；

馈送装置，用于馈送所述第一承载装置；和

第二承载装置，其具有配置在第一承载装置上的至少一支持元件和配置在所述第一承载装置上并沿所述支持元件延伸的至少一分离器元件，

其中所述第一承载装置经所述第二承载装置支持所述保持部件，且所述分离器元件在用于形成所述透明导电膜的蒸发颗粒的迁移并附连至所述支持元件的一表面上的一路径中连同所述支持元件一起形成一曲径。

2、一种用于制造具有透明导电膜的基底的设备，该设备包括：

一保持部件，用于保持一绝缘基底；

第一承载装置，用于支持所述保持部件；

馈送装置，用于馈送所述第一承载装置；和

第二承载装置，其具有配置在所述第一承载部件上的至少一支持元件和配置在所述第一承载部件上并沿所述支持元件延伸的至少一分离器元件，

其中所述第一承载装置经所述第二承载装置的支持元件支持所述保持部件，且所述分离器元件在高度上低于所述支持元件以使所述分离器元件部分地将所述支持元件与所述设备内的用于形成所述透明导电膜的蒸发颗粒的气氛分离开。

3、根据权利要求2的设备，其中，在由所述第一承载装置上的对应于面向所述分离器元件的所述支持元件的一表面和面向所述支持元件的所述分离器元件的一表面之间的一距离的第一边、和所述分离器元件的所述表面上的对应于所述分离器元件的高度的一第二边所确定的一直角三角形中，所述第一边和所述第二边相交形成一直角，由所述直角三角形的斜边与所述第一边形成的角度在45°至85°的范围内。

4、根据权利要求3的设备，其中所述角度在60°至85°的范围内。

5、根据权利要求2至4中任一的设备，其中所述支持元件和所述分离器元件之间的高度差在1至5mm的范围内。

6、根据权利要求5的设备，其中所述高度差在1至3mm的范围内。

7、根据权利要求2至4中任一的设备，其中所述第二承载装置由陶瓷材料制成。

8、根据权利要求2至4中任一的设备，其中所述支持元件和分离器元件各包括一空心圆柱部件。

9、根据权利要求2的设备，其中所述第二承载装置包括配置在所述第一承载装置上的多对支持元件和分离器元件。

10、根据权利要求2的设备，其中所述支持元件和所述分离器元件包括配置在第一承载装置上的若干板。

11、根据权利要求10的设备，其中这些板沿所述保持部件的一相关边的整个长度延伸。

12、根据权利要求2的设备，其中所述设备还包括形成在所述保持部件上的一附加法兰样分离器元件。