[发明专利]一种浮法抛光液膜厚度测量装置无效
| 申请号： | 02132423.9 | 申请日： | 2002-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN1387022A | 公开（公告）日： | 2002-12-25 |
| 发明（设计）人： | 徐长山;王君林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘树清 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 厚度 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种浮法抛光液膜厚度测量装置，是由抛光系统的抛光池、被加工件、工件轴、锡磨盘、磨盘轴组成的，其特征在于本发明是由抛光系统(7、8、9、13、15、16)和测量系统(10、11、12、13、14)组成的，测量系统(10、11、12、13、14)安装在抛光系统(7、8、9、13、15、16)中的被加工件(8)的后面，在测量系统中，反射镜(10)、转轴(11)、弯脚(12)三者构成光杠杆，反射镜(10)在转轴(11)的上方，镜面与轴向平行，弯脚(12)在转轴(11)的下方，弯脚(12)的面与轴向平行，弯脚(12)下部的弯脚面与液膜(13)的表面平行并浮在液膜(13)的表面上，位于转轴(11)上方的反射镜(10)与位于转轴(11)下方的弯脚(12)的面之间形成的夹角大于120°小于180°，平行光管(14)的光轴垂直于反射镜(10)的反射面。
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