[实用新型]磁悬浮轴承式超精密微进给机构无效
申请号: | 02275054.1 | 申请日: | 2002-08-30 |
公开(公告)号: | CN2645340Y | 公开(公告)日: | 2004-09-29 |
发明(设计)人: | 宋文荣;何惠阳;于国飞;王延风;查明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | H02N15/00 | 分类号: | H02N15/00;H02K41/02;F16C32/04 |
代理公司: | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人: | 梁爱荣 |
地址: | 130022吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁悬浮 轴承 精密 进给 机构 | ||
【权利要求书】:
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