[发明专利]具有防着管的等离子体处理装置无效
| 申请号： | 200310124676.3 | 申请日： | 2003-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1511972A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | 本城文兼;长谷川和纪;奥西广树 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;H05H1/10;H05H1/46;C23F4/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;杨松龄 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 防着 等离子体 处理 装置 | ||
【说明书】：
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