[发明专利]量测待测物表面轮廓的装置及方法有效
| 申请号： | 200410030218.8 | 申请日： | 2004-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN1673670A | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | 许华珍;童启弘;张中柱 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 量测待测物 表面 轮廓 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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