[发明专利]制膜方法及装置、设备制造方法及装置

权利要求书

1、一种制膜方法，在基板上涂敷多个液滴而进行制膜，其特征在于，包括：以多种大小将所述液滴涂敷到所述基板上的工序；和

使所述基板上的液滴以不同的振动特性进行振动的工序。

2、根据权利要求1所述的制膜方法，其特征在于，以根据所述多种大小的液滴中的至少一种大小的液滴的固有振动频率的频率进行振动。

3、根据权利要求2所述的制膜方法，其特征在于，所述频率，在包括所述液滴的大小所对应的所有固有振动频率的范围内变化。

4、根据权利要求3所述的制膜方法，其特征在于，从高到低改变所述频率。

5、根据权利要求1～4中任一项所述的制膜方法，其特征在于，包括：

沿着第1方向，涂敷由第1范围内的多种大小的液滴所构成的第1液滴群的工序；

沿着第2方向，涂敷由与所述第1范围不同的第2范围内的多种大小的液滴所构成的第2液滴群的工序；

以根据所述第1范围内的大小的液滴的固有振动频率的频率，在所述第1方向产生振动的工序；和

以根据所述第2范围内的大小的液滴的固有振动频率的频率，在所述第2方向产生振动的工序。

6、一种设备制造方法，包括在基板上形成薄膜的制膜工序，其特征在于，使用权利要求1所述的制膜方法进行所述制膜工序。

7.一种制膜装置，具有向基板喷出液滴的液滴喷头，其特征在于，具有：

控制装置，其控制所述液滴喷头的驱动，使其向所述基板以多种大小喷出所述液滴；和

振动发生装置，使所述基板上的液滴以不同的振动特性进行振动。

8、一种设备制造装置，具有在基板上形成薄膜的制膜装置，其特征在于，使用权利要求7所述的制膜装置作为所述制膜装置。