[发明专利]制膜方法及装置、设备制造方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种制膜方法、制膜装置、设备制造方法、设备制造装置及设备以及电子机器。

背景技术

伴随着电子机器例如计算机或便携式信息终端的发展，液晶显示设备，特别是彩色液晶显示设备的使用也在不断增加。这种液晶显示设备，采用用来使显示图像彩色化的滤色器。滤色器中设有基板，以给定的图形将R(红)、G(绿)、B(蓝)墨水(液滴)喷射到该基板上，使该墨水在基板上干燥而形成着色层。作为对这样的基板喷射墨水的涂敷方式，采用了例如喷墨方式(液滴喷出方式)的描绘装置。

在采用喷墨方式的情况下，在描绘装置中从液滴喷头向滤光器喷出给定量的墨水，在这种情况下，例如将基板安装在Y平台(在Y方向自由移动的平台)上，将液滴喷头安装在X平台(在X方向自由移动的平台)上。这样，通过驱动X平台而将液滴喷头移动到给定的位置上进行位置确定，之后，一边通过驱动Y平台使基板相对液滴喷头移动，一边喷出墨水，这样就能够使多个液滴喷头所喷出的墨水喷弹到基板的给定位置上。

然而，上述基板上，有时为了表面的保护以及平坦化，需要制膜一层薄膜保护膜，在使用上述液滴喷出方式形成保护膜的情况下，着落到基板上的墨水因为表面张力的原因很难均匀扩展，因此膜的外表凹凸不平，存在很难形成平坦且具有均匀的膜厚的薄膜这一问题。

因此，本申请人提案了一种技术，通过让液滴所着落的基板振动，使液滴之间互相融合，从而使膜厚均匀(参考专利文献1)。

然而，在上述现有技术中，还存在以下的问题。

由于着落到基板上的多个液滴具有几乎相同的振动特性，因此以同相位进行振动，存在相邻的液滴之间很难充分融合这一问题。特别是，在使用高粘度的液滴进行液滴喷出的情况下，这种倾向非常明显。

这样，在融合不充分的情况下，由于凹凸变大，有可能会给设有膜的元件的特性带来不良影响。另外，在喷头与基板的相对移动进行换行时，沿着换行位置会产生稍许段差，即所谓的换行错位，有可能会使显示品质降低。

专利文献1：特开2003-260389号公报。

发明内容

本发明考虑到上述问题，其目的在于提供一种能够容易地形成平坦且具有均匀的膜厚的薄膜的制膜方法、制膜装置、设备制造方法、设备制造装置及设备以及电子机器。

为实现上述目的，本发明采用了以下构成。

本发明的制膜方法，在基板上涂敷多个液滴而进行制膜，所具有的特征是，包括：以多种大小将上述液滴涂敷到上述基板上的工序；和使上述基板上的液滴以不同的振动特性进行振动的工序。

因此，本发明由于使相邻的液滴以对应于其大小的不同相位(周期)进行振动，使液滴之间互相碰撞，从而较容易融合。另外，融合变成大液滴之后，振动周期也随之变化，因此更容易与其他液滴碰撞并融合，能够通过使所有液滴融合而形成具有均匀膜厚的薄膜。其结果，能够防止给具有该薄膜的器件的特性带来不良影响。

为了以不同的振动特性进行振动，优选以根据上述多种大小的液滴中的至少一种大小的液滴的固有振动频率的频率(共振频率)进行振动。这种情况下，与其他大小的液滴相比，能够使该液滴剧烈振动，同时使开始振动的时间较短。

振动的频率，优选在包括上述液滴的大小所对应的所有固有振动频率的范围内变化。

这时，由于能够使全体大小不同的液滴以共振频率进行振动，在产生对应频率的振动时，该液滴剧烈振动，能够促进全体液滴的融合，使膜厚更加均匀。

另外，这种情况下，由于液滴之间融合变大，固有振动频率降低，因此优选让使液滴振动时的频率从高向低变化。

本发明还可以采用下述步骤：沿着第1方向，涂敷由第1范围内的多种大小的液滴所构成的第1液滴群的工序；沿着第2方向，涂敷由与上述第1范围不同的第2范围内的多种大小的液滴所构成的第2液滴群的工序；以根据上述第1范围内的大小的液滴的固有振动频率的频率，在上述第1方向产生振动的工序；和以根据上述第2范围内的大小的液滴的固有振动频率的频率，在上述第2方向产生振动的工序。

这样，通过以对应于第1范围内的液滴的大小的频率产生振动，能够使第1液滴群的液滴互相碰撞融合，形成在第1方向延伸的线状薄膜。此时，第2液滴群的液滴由于与第1液滴群的液滴大小不同，几乎不振动。同样，通过以对应于第2范围内的液滴的大小的频率产生振动，能够使第2液滴群的液滴互相碰撞融合，形成在第2方向延伸的线状薄膜。也即，通过适当选择振动方向以及频率，能够形成在第1方向以及第2方向延伸的线状图形。