[发明专利]基于新牺牲层工艺的热剪切应力传感器器件的制作方法无效
| 申请号： | 200510012239.1 | 申请日： | 2005-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN1900669A | 公开（公告）日： | 2007-01-24 |
| 发明（设计）人： | 石莎莉;陈大鹏;欧毅;叶甜春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 牺牲 工艺 剪切 应力 传感器 器件 制作方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200510012239.1/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种智能型断线报警系统
- 下一篇：生物吸毒除臭剂及其制备方法
