[发明专利]Si基膜纳米孔道及其制备方法无效
| 申请号： | 200510130743.1 | 申请日： | 2005-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN1807224A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | 王宇钢;张伟明;薛建明 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | B82B1/00 | 分类号： | B82B1/00;B82B3/00;C01B33/02;C01B33/113;C25F3/02 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 陈美章 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | si 纳米 孔道 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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