[实用新型]大行程纳米级步距压电微动工作平台及其驱动控制系统无效
| 申请号： | 200520025715.9 | 申请日： | 2005-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN2861965Y | 公开（公告）日： | 2007-01-24 |
| 发明（设计）人： | 赵美蓉;林玉池 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 江镇华 |
| 地址： | 300072天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 行程 纳米 级步距 压电 微动 工作 平台 及其 驱动 控制系统 | ||
【权利要求书】：
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