[发明专利]一种微阵列芯片激光扫描仪光学系统

权利要求书

1.一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：它包括具有一通孔和一反射面的一打孔反射镜，其中通孔可使激发光通过而反射面可将来自微阵列芯片的发射光反射。

2.如权利要求1所述的一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：所述打孔反射镜的形状可以从下列形状中选择：圆形，椭圆形，其他规则形状和不规则形状。

3.如权利要求1所述的一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：所述打孔反射镜上通孔的形状可以从下列形状中选择：圆形，椭圆形，其他规则形状和不规则形状。

4.如权利要求1所述的一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：所述打孔反射镜上的通孔为直径约3毫米的圆形。

5.如权利要求1所述的一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：所述打孔反射镜与待扫描的微阵列表面成45度角。

6.如权利要求1所述的一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：它还包括一激发光物镜组，用以聚焦通过打孔反射镜的激发光。

7.如权利要求1或6所述的一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：它还包括一入射光系统，用以产生激发光。

8.如权利要求1或6所述的一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：所述入射光系统包括一第一激光发生器，一第二激光发生器，一分光镜和一斩光器。其中分光镜允许来自第一激光发生器的光束透过而反射来自第二激光发生器的光束，而斩光器每次只允许来自两台激光发生器其中之一的光束通过而阻断来自另一台激光发生器的光束。

9.如权利要求8所述一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：它还包括位于第一激光发生器与分光镜之间光路上的一第一反射镜，位于分光镜与打孔反射镜之间光路上的一第二反射镜，其中由第一激光发生器发出的光束先经第一反射镜反射后再穿过分光镜，而从分光镜出射的光束先经第二反射镜反射后再通过打孔反射镜的通孔。

10.如权利要求8所述一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：所述入射光系统还包括位于至少其中一个激光发生器前面光路上的匹配激发光滤镜。

11.如权利要求8所述的一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：所述入射光系统还包括位于分光镜之后光路上的一衰减片，从而使来自分光镜的光束可由衰减片进行调节。

12.如权利要求1或7所一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：它还包括一采集系统，用以收集发射光，其中采集系统包括一检测器，位于检测器与打孔反射镜之间光路上的一发射光物镜组。

13.如权利要求12所述的一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：所述检测器为一光电倍增管。

14.如权利要求12所述一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：所述采集系统还包括一位于发射光物镜组和检测器之间的针孔。

15.如权利要求12所述一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：所述采集系统还包括一位于打孔反射镜与发射光物镜组之间的发射光滤镜组。

16.如权利要求15所述一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：所述发射光滤镜组包括两片或更多滤光镜以滤过不同波长的光。

17.如权利要求6所述一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：它还包括：一入射光系统，包括一第一激光发生器，一第一反射镜用于反射来自第一激光发生器的光束，一第二激光发生器，一分光镜用于使来自第一反射镜的光束透过而反射来自第二激光发生器的光束，一斩光器用于每次只允许来自于两个激光发生器其中之一的光束通过而阻断来自于另一个激光发生器的光束，一第二反射镜用于反射光束使之通过打孔反射镜的通孔；一采集系统，包括位于打孔反射镜之后光路上的一发射光滤镜组，位于发射光滤镜组之后光路上的一发射光物镜组，位于发射光物镜组之后光路上的一针孔，和一检测器，其中发射光被打孔反射器反射后依次经过发射光滤镜组，发射光物镜组，针孔最后到达检测器。

18.如权利要求17所述一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：它还包括位于至少其中一个激光发生器前面光路上的匹配激发光滤镜。

19.如权利要求17所述一种微阵列芯片激光扫描仪的光学系统，其特征在于：它还包括位于分光镜与第二反射镜之间光路上的一衰减片。