[发明专利]基板处理装置无效
| 申请号： | 200610006961.9 | 申请日： | 2006-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN1836799A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | 山本悟史 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B3/04;F25C1/00;G02F1/13;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫;王玉双 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 搜索关键词： | 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
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