[发明专利]一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的方法

权利要求书

1.一种用离子束加工样品界面实现背散射表征的方法，其特征在于采用聚焦离子束系统结合双倾转样品台和固定表征样品进行离子束制备表征界面，进而实现背散射成像，由以下步骤完成：

1)在聚焦离子束系统中，将需要表征的样品固定在样品托上，样品托安装在聚焦离子束系统副倾转台上，需要制备表征的部位向侧面放置；

2)利用二次电子成像对样品高度进行校准识别，将样品与二次电子探测器之间的工作距离调整为4.9～5.1mm，聚焦样品上表面；

3)倾转聚焦离子束系统主倾转台至与水平方向成50～54度，同时打开离子束，进行双束对中处理，离子束极靴与样品对中距离为16.3～16.7mm；

4)采用离子束大于3nA的大束流预加工表征界面，采用50PA～100PA的小束流精加工制备完毕样品需表征界面；

5)旋转聚焦离子束系统主倾转台50～54度回到原始平衡位置，此时需背散射表征界面与电子束平行；

6)旋转聚焦离子束系统副倾转台90度，实现离子束加工界面与入射电子束的垂直，启用背散射探测器实现背散射电子界面表征。

2.根据权利要求1所述的用离子束加工样品界面实现背散射表征的方法，其特征在于：所述双倾转样品台为在聚焦离子束系统主倾转台上通过传动轴安装与聚焦离子束系统主倾转台转向相同的聚焦离子束系统副倾转台，聚焦离子束系统副倾转台通过齿轮带动传动轴倾转。

3.根据权利要求1所述的用离子束加工样品界面实现背散射表征的方法，其特征在于：所述步骤4)中，大束流范围为3-20nA。

4.根据权利要求1所述的用离子束加工样品界面实现背散射表征的方法，其特征在于：所述步骤1)中，样品采用碳导电胶固定在样品托上，用紧固螺栓固定样品托在聚焦离子束系统副倾转台上。

5.根据权利要求1所述的用离子束加工样品界面实现背散射表征的方法，其特征在于：所述步骤1)中，样品托通过与聚焦离子束系统副倾转台连接的销一端插装固定，与聚焦离子束系统副倾转台连接的销另一端用紧固螺栓固定。

6.根据权利要求1所述的用离子束加工样品界面实现背散射表征的方法，其特征在于：所述聚焦离子束系统为双束聚焦离子束系统，双束聚焦离子束系统分别提供离子束和电子束。