[发明专利]旋转多坩埚下降法晶体生长系统无效
| 申请号： | 200610148318.X | 申请日： | 2006-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN101070608A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 万尤宝 | 申请（专利权）人： | 万尤宝 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人： | 季良赳;杨润周 |
| 地址： | 314001浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转 坩埚 下降 晶体生长 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种旋转多坩埚下降法晶体生长系统，包括：晶体炉，坩埚及其支撑装置，其中晶体炉包括炉体，炉膛和发热体；坩埚支撑装置包括升降台，位于升降台上的坩埚导向管支架和导向管支架上的坩埚导向管，与升降台连接的引下装置，与引下装置连接的升降电机和电源，其中导向管支架和导向管之间设置有紧固装置，坩埚置于坩埚导向管内；其特征在于：所述的坩埚支撑装置是可旋转多坩埚支撑装置，每个导向管支架的下端设置有旋转轴，旋转轴贯穿升降台，旋转轴下端伸出升降台的部分分别连接有互相啮合的齿轮，其中一个旋转轴比其它旋转轴长，该较长旋转轴上的齿轮通过联轴器连接一固定在升降台上的旋转电机。
2.如权利要求1所述的旋转多坩埚下降法晶体生长系统，其特征在于：所述的发热体根据生长不同晶体需要可以替换。
3.如权利要求1所述的旋转多坩埚下降法晶体生长系统，其特征在于：所述的可旋转多坩埚支撑装置中旋转电机和电源之间连接有数字变频器。
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