[发明专利]使用化学气相沉积形成的气体储存容器衬里

权利要求书

1.一种涂覆气体储存容器的方法，其中所述方法包括：

将六氟化钨供应到所述气体储存容器的内部空间中；以及

在暴露于所述储存容器的内部空间中的内表面上形成钨金属涂层，其 中所述钨涂层由所述六氟化钨的分解而形成。

2.权利要求1所述的方法，其中所述六氟化钨具有约99重量％以上 的纯度。

3.权利要求1所述的方法，其中所述六氟化钨具有约99.9重量％以上 的纯度。

4.权利要求1所述的方法，其中所述六氟化钨具有约99.99重量％以 上的纯度。

5.权利要求1所述的方法，其中所述钨金属涂层具有约99重量％以 上的纯度。

6.权利要求1所述的方法，其中所述钨金属涂层具有约99.9重量％ 以上的纯度。

7.权利要求1所述的方法，其中所述钨金属涂层具有约99.99重量％ 以上的纯度。

8.权利要求1所述的方法，其中所述方法还包括将所述六氟化钨的气 体产物从所述储存容器的内部移除。

9.权利要求8所述的方法，其中将所述气体产物再循环以产生更多化 学气相前体。

10.权利要求1所述的方法，其中所述储存容器是额定在至少100psi 的压力下储存气体的气瓶。

11.权利要求1所述的方法，其中所述储存容器是额定在至少1000psi 的压力下储存气体的气瓶。

12.权利要求1所述的方法，其中所述被储存在涂覆的储存容器中的 气体包括腐蚀性气体。

13.权利要求1所述的方法，其中所述气体储存容器包含碳钢。

14.一种气体储存容器，其包含：

具有内表面的气体储存罐，所述内表面可以暴露于储存的气体中；以 及

在所述储存罐的所述内表面上形成的衬里，其中所述衬里包含纯度为 约99重量％以上的金属或金属合金。

15.权利要求14所述的气体储存容器，其中所述衬里包含纯度为约 99.9重量％以上的金属或金属合金。

16.权利要求14所述的气体储存容器，其中所述衬里包含纯度为约 99.99重量％以上的金属或金属合金。

17.权利要求14所述的气体储存容器，其中所述气体储存罐是金属气 瓶。

18.权利要求17所述的气体储存容器，其中所述金属气瓶被额定在 100psi以上的压力下储存气体。

19.权利要求17所述的气体储存容器，其中所述金属气瓶被额定在 1000psi以上的压力下储存气体。

20.权利要求14所述的气体储存容器，其中所述衬里包含金、铂、铜、 钛、铅、铬、铁、钴或银。

21.权利要求14所述的气体储存容器，其中所述衬里包含铪、锆、钽、 钌、锌、镓、铟、锗、硅或砷。

22.权利要求14所述的气体储存容器，其中所述衬里包含镍。

23.权利要求14所述的气体储存容器，其中所述衬里包含钨。

24.权利要求14所述的气体储存容器，其中所述储存的气体包括腐蚀 性气体。

25.权利要求24所述的气体储存容器，其中所述腐蚀性气体包括卤化 氢。

26.一种用于制备钨衬里的气体储存容器的系统，所述系统包含：

六氟化钨供给源；

前体注入组件，用于将所述六氟化钨输送到气体储存罐的内部空间 中，其中所述六氟化钨分解以在所述储存罐的内表面上沉积钨衬里；和

废气出口，用于将气体六氟化钨沉积产物从所述气体储存罐的内部空 间中移除。