[发明专利]多通道线圈过滤器离子复合镀膜装置和方法无效
| 申请号： | 200710037887.1 | 申请日： | 2007-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN101016617A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 沈耀;戴华;蔡珣;胡亚威;陈秋龙 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;张宗明 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通道 线圈 过滤器 离子 复合 镀膜 装置 方法 | ||
【说明书】：
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