[发明专利]具有温度开关的粒子光学设备

权利要求书

1.一种粒子光学设备，所述粒子光学设备中装备有：

具有末端(20)的样品保持器(7)，所述末端具体体现为具有附接到所述末端上的样品(34)；

用于保持所述设备的冷源(22)处于接近液氮温度或者液氦温度的低温温度的冷却设施(26、28)，和；

用于通过将所述样品保持器(7)的所述末端(20)热连接至所述冷源(22)而对所述样品保持器(7)的所述末端(20)进行冷却的热连接装置(30)，

其特征在于，

所述热连接装置包括热控开关(40)，所述热控开关(40)具有通过不同导热性来区分的至少两种不同的状态，所述至少两种不同的状态中的第一种状态使所述末端连接至所述冷源并且所述至少两种不同的状态中的第二种状态使所述末端连接至设备的一部分上，所述设备的该部分的温度与所述冷源的温度不同。

2.根据权利要求1所述的粒子光学设备，其中所述设备的该部分为所述设备的具体体现为被保持处于室温的部分。

3.根据权利要求1所述的粒子光学设备，其中所述设备的该部分为所述设备的具体体现为借助于加热装置被保持处于高于室温的一定温度的部分。

4.根据权利要求1所述的粒子光学设备，其中所述设备的该部分为所述设备的具体体现为被保持处于所述冷源的温度与室温之间的一定温度的部分。

5.根据权利要求4所述的粒子光学设备，其中所述设备的所述部分借助于珀耳贴冷却效应被保持处于所述冷源的温度与室温之间的一定温度。

6.根据权利要求1所述的粒子光学设备，其中所述至少两种不同的状态也能够通过从所述样品保持器(7)的所述末端(20)到所述设备(17)在室温下的部分的不同导热性来进行区分。

7.根据权利要求1所述的粒子光学设备，其中所述冷却设施(26、28)具体体现为使所述冷源(22)保持处于低温温度。

8.根据权利要求7所述的粒子光学设备，其中所述冷却设施(26、28)具体体现为通过允许液体蒸发而使所述冷源(22)保持处于低温温度。

9.根据权利要求8所述的粒子光学设备，其中所述蒸发液体为液氮或液氦。

10.根据权利要求1所述的粒子光学设备，其中所述热控开关(40)包括能够以机械方式产生位移的元件(42)。

11.根据权利要求1所述的粒子光学设备，其中所述热控开关(40)具有两种以上不同的状态，所述状态由于从所述样品保持器(7)的所述末端(20)到所述设备不同部分的所述导热性不同而区分开，所述设备的所述不同部分具体体现为具有彼此不同的温度。

12.根据权利要求1所述的粒子光学设备，其中所述样品保持器(7)包括加热装置。

13.根据权利要求1所述的粒子光学设备，其中所述粒子光学设备包括粒子镜筒，所述粒子镜筒来自于透射电子镜筒(TEM镜筒)、扫描透射电子镜筒(STEM镜筒)、扫描电子镜筒(SEM镜筒)和聚焦离子束镜筒(FIB镜筒)的组群。