[发明专利]中间基座、XY工作台、密封剂涂敷装置及液晶面板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及中间基座、将该中间基座作为X/Y工作台的XY工作台、利用该XY工作台将密封剂涂敷到基板上的密封剂涂敷装置、采用该密封剂涂敷装置制造液晶面板的液晶面板制造方法。

背景技术

在制造液晶面板的过程中使用密封剂涂敷装置。该密封剂涂敷装置包括基台、载置在该基台上的XY工作台、通过支柱设在上述基台上的Z工作台、安装在该Z工作台上的分配喷嘴、以及将密封剂供给该分配喷嘴的密封剂供给部。

在构成XY工作台的基板台上载置玻璃基板，驱动Z工作台、使分配喷嘴下降，把喷嘴前端的喷出口与玻璃基板之间的间隔保持为预定尺寸。然后，使XY工作台和分配喷嘴相对于玻璃基板在X方向和Y方向相对移动，同时，从分配喷嘴的喷出口供出密封剂、将其涂敷到玻璃基板上。

专利文献1公开了密封剂供给装置，该密封剂供给装置备有测定分配喷嘴与玻璃基板之间间隔的间隔传感器、和根据该间隔传感器的测定信号在Z方向驱动喷嘴而将间隔保持为一定值的线性促动器，即使玻璃基板产生翘曲，也能高速度地并且以连续的形状涂敷密封剂。

专利文献1：日本特开平10-137655号公报

发明内容

此种密封剂涂敷装置，要求能高速地涂敷密封剂，并且要求能够涂敷微量的密封剂。但是，在高速涂敷时，装置本身发生振动，即使装置发生了微小的振动，玻璃基板与分配喷嘴之间的间隔也将产生变动。因此，容易出现涂敷变细而导致质量降低。另外，在密封剂的微量涂敷时，也容易出现前述的涂敷飞白。

即使采用上述专利文献1的密封剂涂敷装置将密封剂涂敷到玻璃基板上，在从X方向朝Y方向的方向变换部分即角部，也必须要急剧地进行XY工作台的加减速。另外，从Y方向朝X方向变换的角部，也同样要急剧地进行加减速，由该影响而产生大的力，装置可能会产生振动。

具体地说，例如在XY工作台的移动速度为100mm/s、角部的曲率半径R为0.5mm的情况下涂敷密封剂时，在角部，XY工作台所需的加速度是2G。

即使X工作台高速移动，在到达了角部后的0.5mm间，必须急剧减速、在角部拐弯、然后停止。另一方面，Y工作台与X工作台的急减速相应地前进，在起动后的0.5mm间，在角部拐弯，然后必须急剧加速、加速到100mm/s移动。

实际上，用有限元法来模拟在已往的XY工作台中用2G的加速度使中间基座移动时产生的变形方式、并进行观察。其结果如图10(A)(B)所示。在图10(C)中，用阴影线、图标种类来分别表示实际的变位数值。

图中最上层是载置玻璃基板用的基板台1，该基板台1由顶板2支撑着。在顶板2的下面，通过实现运动直线性的若干个LM导引件3，设置着中间基座4。在中间基座4的下面大致中央部，设有与图未示的滚珠丝杠螺纹接合的螺母部5。

图10(A)表示基板台1从Y方向拐过角部后，中间基座4朝X方向(图中面前侧)急加速时的变形状态，(U)表示朝上方向的最大变位，(D)表示朝下方向的最大变位，(M)表示最大与最小的中间变位。因此，从中间变位(M)到最大变位(U)，其变位经过若干阶段增大，从中间变位(M)到最小变位(D)，其变位经过若干个阶段减小。

借助滚珠丝杠变位的中间基座4随着朝X方向急加速，基板台1的面前侧角部a成为最大变位(U)，转到最上边。另一方面，X方向相反侧的角部b成为最小变位(D)，是最下位的变形。图10(B)是从Y方向看的图，所以，基板台1的图中左侧角部a是最大变位(U)，右侧角部b是最小变位(D)。

如图10(A)所示，中间基座4是Y方向长的横长矩形，基板台1的最大变形部位是设在中间基座4下面的若干个LM导引件(图中是LM螺母)6之中的、中央2个LM导引件6相互之间的中间区域部分。

在该中间区域产生惯性力，该惯性力与中间基座4、顶板2、基板台1、沿Y方向的滚珠丝杠、滚珠丝杠的驱动源、若干个LM导引件3等载置在中间基座4上的全部零件(包含中间基座4)的总质量对应。

因此，中间区域的变形比两侧区域的大，结果，基板台1本身变形而倾斜，载置在基板台1上的上述玻璃基板、和与该玻璃基板相向的分配喷嘴之间的间隔产生变动，从而成为密封剂涂敷不良的原因。