[实用新型]研磨液清洗装置无效
| 申请号： | 200720069510.X | 申请日： | 2007-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN201046545Y | 公开（公告）日： | 2008-04-16 |
| 发明（设计）人： | 刘宇龙;李春;李宁;董兵超 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B55/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨机台的研磨液清洗装置，所述研磨机台包括研磨垫和研磨头，其特征在于：所述清洗装置位于研磨垫旁边，环绕所述研磨垫布置，所述清洗装置与水源相连，侧面具有两个以上出水孔，所述出水孔的高度与研磨垫边缘的高度对应。
2.如权利要求1所述的研磨液清洗装置，其特征在于：所述清洗装置为管状，直径为15-30mm。
3.如权利要求2所述的研磨液清洗装置，其特征在于：所述管为软管或波纹管。
4.如权利要求1所述的研磨液清洗装置，其特征在于：所述孔为圆形。
5.如权利要求4所述的研磨液清洗装置，其特征在于：所述孔的直径为2-5mm。
6.如权利要求1所述的研磨液清洗装置，其特征在于：所述孔为方形或菱形。
7.如权利要求6所述的研磨液清洗装置，其特征在于：所述孔的边长为2-5mm。
8.如权利要求3所述的研磨液清洗装置，其特征在于：所述管为塑料软管或波纹管。
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