[实用新型]多工位多夹具圆排气机无效
申请号: | 200720069700.1 | 申请日: | 2007-05-09 |
公开(公告)号: | CN201063329Y | 公开(公告)日: | 2008-05-21 |
发明(设计)人: | 郑忠兵;顾恩平;韦志华 | 申请(专利权)人: | 上海丰翠明光电有限公司 |
主分类号: | H01J9/38 | 分类号: | H01J9/38 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 胡美强 |
地址: | 201507上海市金山*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多工位多 夹具 排气 | ||
1.一种多工位多夹具圆排气机,包括:中心盘(3);所述的中心盘(3)分成包括N个上工位(310)的上中心盘(31)和与N个工位对应的下工位(320)的下中心盘(32);其特征在于:所述的上工位(310)包括一个以上的与气路通道对应个数的锁紧夹具;下工位(320)包括一个以上的并与锁紧夹具对应的、与下中心盘气路通道相连对应的真空泵路系统和充气系统。
2.根据权利要求1所述的多工位多夹具圆排气机,其特征在于:所述的一个以上锁紧夹具可以是2个。
3.根据权利要求2所述的多工位多夹具圆排气机,其特征在于:所述的锁紧夹具可以分布在以工位中心点为准的二侧。
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