[实用新型]一种高效率的真空生产装置

权利要求书

1.一种高效率的真空生产装置，它包括有真空舱、工作台，真空舱经由抽气口与真空机组相连，其特征在于：它还包括有辅助舱、升降机构、搬运机构、工作源，其中，辅助舱与真空舱连通，升降机构的前端具有隔离真空舱和辅助舱的隔板，用于将已加工工件和未加工工件互换位置的搬运机构同时与工作台及隔板配合，工作源则与工作台上工件配合。

2.根据权利要求1所述的真空生产装置，其特征在于：所述的工作台、辅助舱、升降机构、搬运机构、工作源皆为一个，其中，工作台、升降机构、搬运机构位于真空舱内，工作源则位于真空舱内部或外端。

3.根据权利要求2所述的真空生产装置，其特征在于：所述的辅助舱经由抽气口与另一真空机组相连，其上端具有活动的舱盖。

4.根据权利要求1所述的真空生产装置，其特征在于：所述的工作台、搬运机构、工作源分别为一个，辅助舱和升降机构各为两个，其中，第一辅助舱、第二辅助舱分别与第一升降机构、第二升降机构前端的隔板配合，第一升降机构、第二升降机构、搬运机构位于真空舱内，第二升降机构的隔板兼做工作台，工作源则位于第二辅助舱内部或外端。

5.根据权利要求4所述的真空生产装置，其特征在于：所述的第一辅助舱经由抽气口与另一真空机组相连，其上端具有活动的舱盖。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的真空生产装置，其特征在于：所述的升降机构、搬运机构的驱动装置位于真空舱内部或外端。

7.根据权利要求6所述的真空生产装置，其特征在于：所述的升降机构中的隔板由气动装置、液压装置、伺服电机、或机械连杆机构带动实现升降。

8.根据权利要求6所述的真空生产装置，其特征在于：所述的搬运机构为旋转平台、物流流水线、或搬运机器人。