[实用新型]一种多倍焦距的超声悬浮场测量装置

权利要求书

1.一种多倍焦距的超声悬浮场测量装置，其特征在于：装置包括激光器(14)，分束装置(8)，二个扩束装置(7)、(9)，半透半反镜(6)、(12)，全反射镜(5)、(10)、(16)，凸透镜(2)、(3)、(4)、(11)，衰减器(15)和面阵CCD(1)；在激光器(14)发出的光路中设置衰减器(15)和改变光路方向的全反射镜(16)，之后设置形成第一光束和第二光束的分束装置(8)；在第一光束的光路中，依次设置扩束装置(7)和全反射镜(5)，待测超声场位于光路中设置在扩束装置(5)和全反射镜(5)之间，在扩束装置(5)与待测超声场之间设置一个将物光反射到与第一光束方向垂直的另外一侧的半透半反镜(6)；在第二光束的光路中，设置一个将光束变为平行参考光的扩束装置(9)；之后依次设置改变光路方向的全反射镜(10)和半透半反镜(12)；在半透半反镜(12)与半透半反镜(6)之间设置凸透镜(4)，在半透半反镜(12)与全反射镜(10)设置凸透镜(11)，在半透半反镜(12)与凸透镜(2)之间设置凸透镜(3)；在两束光发生干涉后形成的光路中，依次设置将干涉图样成像的凸透镜(2)和记录数字全息图的面阵CCD(1)。

2.根据权利要求1所述的多倍焦距的超声悬浮场测量装置，其特征在于：所述的分束装置(8)为固定分光比分束镜，或分光比可调分束镜。

3.根据权利要求1所述的多倍焦距的超声悬浮场测量装置，其特征在于：所述的扩束装置(7)、(9)为扩束镜，或透镜组。

4.根据权利要求1所述的多倍焦距的超声悬浮场测量装置，其特征在于：所述线阵CCD(1)为一面阵列分布的电荷耦合器件。