[发明专利]微型泵

权利要求书

1.一种微型泵，在通过膜片部将压电致动器的弯曲变位传递给泵室、使泵室的容积变化的同时交替地开闭流入侧止回阀和流出侧止回阀，对流体进行输送，其特征在于，包括：一定厚度的弹性体片、第一外壳部件和第二外壳部件，

在所述弹性体片上，所述膜片部、所述流入侧止回阀的阀部和所述流出侧止回阀的阀部形成为一体，

在所述膜片部的背面粘贴有所述压电致动器，

所述弹性体片被夹在所述第一外壳部件和所述第二外壳部件之间而使两个外壳部件之间密封，

在所述弹性体片与所述第一外壳部件之间形成有收容所述压电致动器的振动室，

在所述弹性体片与所述第二外壳部件之间形成有泵室。

2.如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，所述流入侧止回阀和流出侧止回阀设置在隔着所述泵室相对的位置上，从所述流入侧止回阀流入的流体经过所述泵室向所述流出侧止回阀正向输送。

3.如权利要求1或2所述的微型泵，其特征在于，所述压电致动器形成为长方形，所述流入侧止回阀和流出侧止回阀配置在所述压电致动器的短边侧。

4.如权利要求1至3中任一项所述的微型泵，其特征在于，

所述第一外壳部件是具有振动室用凹部、与振动室用凹部隔开的流入通路用凹部以及与振动室用凹部隔开的流出空间用凹部的板状部件，

所述第二外壳部件是具有泵室用凹部、与泵室用凹部连通并与所述流入通路用凹部相对的流入空间用凹部以及与泵室用凹部连通并与所述流出空间用凹部相对的流出通路用凹部的板状部件，

在所述弹性体片上，关闭所述流入通路用凹部的流入侧止回阀的阀部和关闭所述流出通路用凹部的流出侧止回阀的阀部形成为舌片状。

5.如权利要求1至3中任一项所述的微型泵，其特征在于，

所述第一外壳部件是通过将平板构成的底板和第一中间层层叠而形成的，该第一中间层在平板上形成有振动室用孔部、与该振动室用孔部隔开的流入通路用孔部以及与所述振动室用孔部隔开的流出空间用孔部，

所述第二外壳部件是通过将平板构成的顶板和第二中间层层叠而形成的，该第二中间层在平板上连续形成有泵室用孔部、与所述流入通路用孔部相对的流入空间用孔部以及与所述流出空间用孔部相对的流出通路用孔部，

在所述弹性体片上，关闭所述流入通路用孔部的流入侧止回阀的阀部和关闭所述流出通路用孔部的流出侧止回阀的阀部形成为舌片状。

6.如权利要求1至5中任一项所述的微型泵，其特征在于，连接所述泵室与流入空间之间的连通路的长度以及连接所述泵室与流出通路之间的连通路的长度分别比流路宽度大。

7.如权利要求6所述的微型泵，其特征在于，连接所述泵室与流入空间之间的连通路以及连接所述泵室与流出通路之间的连通路分别形成为曲轴形状。