[发明专利]电容式传感器

权利要求书

1.一种电容式传感器，所述电容式传感器包括固定电极和通过梁由 半导体层的固定部分可动支撑的可动电极，其中固定电极和可动电极彼此 相对，在固定电极和可动电极之间夹有间隙，从而组成检测单元，检测适 合间隙的尺寸的电容，从而检测预定的物理值，其中连接到固定部分的梁 的端部和连接到可动电极的梁的端部中的至少之一设置有调节局部应力 集中的应力调节单元，所述应力调节单元为以束的形式相互重叠为许多层 的三角形形状的单元框架。

2.根据权利要求1所述的电容式传感器，其中连接到固定部分的梁的 所述端部和连接到可动电极的梁的所述端部设置有所述应力调节单元。

3.根据权利要求1所述的电容式传感器，其中梁为具有大致矩形横截 面的扭转梁，所述矩形横截面在可动电极移动时扭转。

4.根据权利要求3所述的电容式传感器，其中可动电极通过所述扭转 梁可摆动地被支撑，而检测单元检测适合于在摆动的可动电极的表面和与 可动电极的表面相对的固定电极的表面之间的间隙的尺寸的电容。