[发明专利]电子束记录装置

说明书

技术领域

本发明涉及通过将电子束照射到预定的位置来记录信息的电子束记录装置，并且具体涉及用于通过使用电子束打印模式(pattern)来生产母光盘(amaster of optical disk)的电子束记录装置。 

背景技术

近年来，对如母光盘曝光技术和半导体技术的微制造技术的精度改进存在日益增长的需求。例如，通过用于从玻璃板生产压模的母盘生产处理、和用于利用其上安装有压模的注模来生产光盘的磁盘生产处理而制造光盘。 

在典型的母盘生产处理中，母盘生产机器从周围环境中的光源发出可见光、紫外线激光等，并且通过高倍物镜将光线聚焦以具有波长级的点直径。利用这些光线，在其主要表面上具有光阻材料层的玻璃板上形成对应于要记录的信息信号等的凹坑(pit)模式潜像。在切割光阻材料层之后，玻璃板进入显影处理或者是电铸处理以便成为压模。 

在切割母盘的同时，母盘生产机器旋转母盘，以便相对移动可视光或紫外光在母盘的径向方向上的照射位置。这样的使用可见光或紫外线激光的母盘切割处理的问题在于，由于光点直径的限制，要记录的信息信号的记录分辨率受到限制，导致妨碍高密度记录。 

与通过激光束切割相比，通过电子束的切割能够形成更精细的模式。 

然而，在使用电子束的典型的母盘生产机器中，电子束被机器内部和外部的磁场波动而偏转，这导致被聚焦单元聚焦的电子束的点位置的变化。这降低了母盘磁道间距的精度或造成再现抖动。 

机器内部和外部的磁场波动的原因包括由于车辆、电梯等的运动产生的地磁力(magnetism)的变化、从如配电盘的电源系统发射的电磁波的变化、以及由母盘生产机器的旋转机构或磁盘传输机构产生的磁力的变化。 

尤其是，由旋转机构、磁盘传输机构等产生的磁力引起电子束照射位置的明显变化。因此提出了各种方法来减小由旋转机构或磁盘传输机构等产生 的磁力的影响(见专利文献1-3)。 

专利文献1公开了一种磁屏蔽设备作为移除噪声的方法，该磁屏蔽设备阻挡企图进入具有由高导磁率材料构成的壁的盒状磁屏蔽室的磁噪声。 

在专利文献1中公开的磁屏蔽设备包括：检测线圈，其穿过壁的孔和壁周围的开口(wound)，用于输出与磁噪声的变化对应的感应电压作为检测信号；消除线圈，其接收外部电流，以便产生磁场来补偿由检测线圈检测到的磁噪声；以及控制器，用于根据检测线圈的输出来控制要提供给消除线圈的电流。一对亥姆霍兹线圈用作消除线圈，它能够在与检测线圈检测到的磁通量相同的方向产生磁场。 

专利文献2公开了一种信息记录器，它包含：旋转单元，用于旋转信息记录介质的主盘；照射单元，用于将信息记录电子束照射到主盘的记录表面上；传输单元，用于在与记录表面平行的方向上相对移动主盘和照射单元；以及真空形成单元，用于在真空环境中容纳旋转单元和照射单元。 

依照专利文献2，信息记录器的旋转单元包含放置主盘的转盘、用于支撑转盘的轴(spindle shaft)、用于旋转轴的电磁发动机、和用于屏蔽在电磁发动机中产生的磁力的磁屏蔽单元。 

在专利文献2的信息记录器中，为了减小来自电磁发动机的磁噪声，整个电磁发动机由磁外壳(高导磁率材料)包围以阻挡磁力，从而阻止由电磁发动机产生的电磁场对电子束的影响。 

专利文献3公开了一种电子束照射设备和一种用于消除由旋转机构或主盘传输机构产生的磁力以及电子枪附近的磁力的影响的方法。专利文献3的电子束照射设备根据在布置于电子束发生器附近或真空室内的多个磁检测器的输出来驱动电子束偏转电极，将电子束在用于消除由磁场的变化造成的电子束的偏转的方向上偏转，从而校正了由于磁场变化造成的主盘上电子束焦点的位移。 

<专利文献1>日本专利申请公开号2003-124683 

<专利文献2>日本专利申请公开号6-131706 

<专利文献3>日本专利申请公开号2002-217086 

回来参照专利文献1中公开的磁屏蔽设备，尽管消除线圈需要高精度地安装，但由于亥姆霍兹线圈相对大的尺寸，难以精确安装该亥姆霍兹线圈。如果亥姆霍兹线圈未形成理想的形状，则由该亥姆霍兹线圈产生的磁场不一致，这导致设备精度的降低。而且，使用专利文献1的磁屏蔽设备的设施大而且贵。 

参照专利文献2的信息记录器，电磁发动机包含旋转部分，因此难以通过将整个电磁发动机用磁外壳(高导磁率材料)包围来完全屏蔽整个电磁发动机的磁力。