[发明专利]音片型振子以及使用了该音片型振子的振动陀螺仪

权利要求书

1.一种音片型振子，包括：

具有一个主面以及另一个主面的蜿蜒形状的振动体；

形成为从所述振动体的一个主面的纵长方向一端侧向中央部延伸，并且在所述振动体的宽度方向上分割而成的两个驱动电极；

检测电极，形成为从所述振动体的一个主面的纵长方向另一端侧向中央部延伸；

金属膜，形成在所述振动体的另一个主面上；和

支撑部，形成在成为所述振动体弯曲振动时的节点的部分，用于中空地支撑所述振动体；

振动体的另一个主面上由金属膜形成的公共电极、和在振动体的中央部的振动片的一个主面上形成的公共电极，通过在振动体的中央部的振动片上形成的通孔连接。

2.根据权利要求1所述的音片型振子，其特征在于，

在所述振动体的纵长方向的大致中央部，形成有沿与所述振动体的纵长方向交叉的方向延伸的长条状的第一检测部，在所述第一检测部的一个主面上形成有所述检测电极。

3.根据权利要求2所述的音片型振子，其特征在于，

还包括第二检测部，该第二检测部形成为与所述第一检测部的端部连结，并且形成为在所述振动体的宽度方向的两侧沿所述振动体的纵长方向延伸。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的音片型振子，其特征在于，

所述振动体通过将两个压电体基板贴合而形成，

在所述振动体的一个主面侧和另一个主面侧，两个所述压电体基板沿厚度方向相互反向地极化。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的音片型振子，其特征在于，

所述振动体通过将在厚度方向上极化了的压电体基板和非压电体基板贴合而形成。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的音片型振子，其特征在于，

所述振动体由包括压电膜的薄膜形成。

7.一种振动陀螺仪，包括：

权利要求1～6中的任一项所述的音片型振子；

驱动单元，用于向所述音片型振子的所述驱动电极间施加驱动信号；和

检测单元，用于检测在所述检测电极与所述金属膜之间产生的信号。