[发明专利]用于过程监控的光学测量探针无效
| 申请号： | 200780028729.8 | 申请日： | 2007-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN101495851A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | S·托什;R·格罗斯;M·布兰德;H·图普斯 | 申请（专利权）人： | 拜尔技术服务有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/15 | 分类号： | G01N21/15;G01N21/47 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵 辛;梁 冰 |
| 地址： | 德国莱*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 过程 监控 光学 测量 探针 | ||
1.一种用于过程监控的光学测量探针(10)具有
a)一个设置在工艺装置部位里面的具有一个光进入孔(12)的远端(11)，
b)一个耦联到评价装置上的近端(13)，其中
c)在测量探针的远端与近端之间设置一个杆(14)，它在两个端部之间包括一个光导连接，其特征在于，
d)该测量探针在其远端部位(11)具有比杆(14)和/或近端(13)更小的外径。
2.如权利要求1所述的光学测量探针，其特征在于，所述测量探针具有一个冲洗装置(15)，它具有设置在杆部位的冲洗通道以及设置在远端部位的冲洗孔(16)。
3.如权利要求2所述的光学测量探针，其特征在于，这样设计冲洗装置，使得可以持续地、以固定间隔或在需要清洁时实现冲洗。
4.如权利要求2或3所述的光学测量探针，其特征在于，这样设计冲洗装置，使得可以脉冲式和/或以高压实现冲洗。
5.如上述权利要求中任一项所述的光学测量探针，其特征在于，所述光导连接是光导纤维导体或光导体束。
6.如上述权利要求中任一项所述的光学测量探针，其特征在于，所述测量探针设计成反射测量。
7.如上述权利要求中任一项所述的光学测量探针，其特征在于，所述测量探针具有
a)另一光导连接(17)，用于耦入具有已知光谱的光源测量光
b)以及一个在测量探针远端部位中的光排出孔(18)。
8.如上述权利要求中任一项所述的光学测量探针，其特征在于，所述测量探针设计成在NIR范围中的反射测量。
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