[发明专利]三自由度反射镜调整装置无效
申请号: | 200810032841.5 | 申请日: | 2008-01-21 |
公开(公告)号: | CN101216590A | 公开(公告)日: | 2008-07-09 |
发明(设计)人: | 王洪尊 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/182 | 分类号: | G02B7/182 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自由度 反射 调整 装置 | ||
1.一种反射镜调整装置,包括一反射镜镜框和一调节基座,其中该反射镜镜框一侧安装有一反射镜,另一侧与调节基座相对,其特征是,该反射镜调整装置还包括:
一线位移调整件,连接上述反射镜镜框与调节基座,其一端万向连接于反射镜镜框与调节基座相对的一侧,另一端轴向连接调节基座,
其中该线位移调整件与反射镜镜框的连接位置与上述反射镜的几何中心处相对应。
2.根据权利要求1所述的反射镜调整装置,其特征是,其中通过调整上述线位移调整件的轴向位移,可调整反射镜镜框与调节基座之间的距离。
3.根据权利要求2所述的反射镜调整装置,其特征是,还包括:
一锁固件,当反射镜镜框与调节基座之间的距离满足要求时,将线位移调整件锁固于上述调节基座。
4.根据权利要求3所述的反射镜调整装置,其特征是,其中上述锁固件为一锁固螺母。
5.根据权利要求1所述的反射镜调整装置,其特征是,其中上述线位移调整件为一球头螺杆,其与反射镜镜框相连的一端为球形端。
6.根据权利要求5所述的反射镜调整装置,其特征是,其中上述反射镜镜框与调节基座相对的一侧具有一球形槽,其位置与上述反射镜的几何中心处相对应,上述球头螺杆的球形端位于该球形槽内,其另一端轴向连接于上述调节基座,且该球头螺杆可以绕着球形槽的轴线做自由旋转。
7.根据权利要求6所述的反射镜调整装置,其特征是,还包括:
一连接螺母,将上述球头螺杆的球形端固定于球形槽内。
8.根据权利要求1所述的反射镜调整装置,其特征是,还包括:
多个角度调整销,轴向连接于调节基座与反射镜镜框之间,其中通过调整角度调整销的轴向位移,调整反射镜上下俯仰和左右倾斜的角度。
9.根据权利要求8所述的反射镜调整装置,其特征是,其中上述角度调整销为四个,分别穿过上述调节基座而接于上述反射镜镜框的四个边角处。
10.根据权利要求8所述的反射镜调整装置,其特征是,其中上述角度调整销为微调螺钉。
11.根据权利要求1所述的反射镜调整装置,其特征是,还包括:
一支撑架,其中上述调节基座安装于该支撑架上。
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