[发明专利]三自由度反射镜调整装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种光学反射镜的调整装置，特别是涉及一种具有三自由度的光学反射镜的调整装置。

背景技术

反射镜是一种重要的光学元器件，在光学仪器中占有十分重要的地位。目前，在光学仪器的使用中，反射镜的主要作用是用来实现光束的转折及其方向的改变，所以，反射镜的安装、固定与调整，都起着十分重要的作用。在反射镜的调整过程中，倾角的调整往往会引起中心光线反射点的位置发生改变，从而造成中心光线反射点前后距离发生变化，致使局部光程发生偏移。以下以传统直顶式两维角度圆形调整架为例，加以说明。

请参考图1和图2，其分别为传统直顶式两维角度圆形调整架的侧视图以及立体图。如图所示，该调整架包括支撑架11，调节基座16，反射镜镜框14以及嵌于反射镜镜框14内的反射镜18。连接弹簧15连接反射镜镜框14与调节基座16，支撑圆球12，微调螺钉13、17用以调节反射镜的角度，然而由于调节支撑点的支撑圆球12在调整架的一角，而反射镜18的工作面往往在其几何中心处，因而该调整架在实现反射镜的角度调整时，往往会造成光线反射点前后光程发生变化，从而引起工作面的绝对距离发生改变。故此种装置在发生变化后，由于其设计固有的局限性，不能够实现除俯仰和倾斜角度调整功能外线位移的调整，且该类装置的刚性不稳定。

而某些光学设备，例如光刻机照明反射装置等，对反射点位置有严格的要求，为此如何在反射镜俯仰和倾斜角度调整的同时实现线位移的调整，已变得十分重要。

发明内容

本发明的目的在于提供一种反射镜调整装置，以解决传统调整装置中出现的于倾角调整时反射点位置发生变化的问题。

为达上述目的，本发明提供一种反射镜调整装置，包括：一反射镜镜框和一调节基座，其中该反射镜镜框一侧安装有一反射镜，另一侧与调节基座相对；一线位移调整件，连接上述反射镜镜框与调节基座，其一端万向连接于反射镜镜框与调节基座相对的一侧，另一端轴向连接调节基座，其中该线位移调整件与反射镜镜框的连接位置与上述反射镜的几何中心处相对应。

进一步的，通过调整上述线位移调整件的轴向位移，可调整反射镜镜框与调节基座之间的距离。

进一步的，上述反射镜调整装置还包括：一锁固件，当反射镜镜框与调节基座之间的距离满足要求时，将线位移调整件锁固于上述调节基座。

进一步的，上述锁固件为一锁固螺母。

进一步的，上述线位移调整件为一球头螺杆，其与反射镜镜框相连的一端为球形端。

进一步的，上述反射镜镜框与调节基座相对的一侧具有一球形槽，其位置与上述反射镜的几何中心处相对应，上述球头螺杆的球形端位于该球形槽内，其另一端轴向连接于上述调节基座，且该球头螺杆可以绕着球形槽的轴线做自由旋转。

进一步的，上述反射镜调整装置还包括：一连接螺母，将上述球头螺杆的球形端固定于球形槽内。

进一步的，上述反射镜调整装置还包括：多个角度调整销，轴向连接于调节基座与反射镜镜框之间，其中通过调整角度调整销的轴向位移，调整反射镜上下俯仰和左右倾斜的角度。

进一步的，上述角度调整销为四个，分别穿过上述调节基座而接于上述反射镜镜框的四个边角处。

进一步的，上述角度调整销为微调螺钉。

进一步的，上述反射镜调整装置还包括：一支撑架，其中上述调节基座安装于该支撑架上。

综上所述，本发明利用万向节的多自由度工作原理，实现反射镜倾斜和俯仰的调节，同时通过控制调节基座与反射镜镜框之间的距离来实现另一自由度线位移的调节。与传统调整装置相比，其具有如下优点：

在光路调试中，获得精确角度偏移的情况下，能够保持光线反射前后反射点的位置不发生改变，局部光程稳定；

在光路调试中，尤其针对光刻机等对反射点位置有严格的要求的设备，在获得精确角度偏移的情况下，能够根据需要，适时调整光线反射前后反射点的位置；

避免使用弹簧连接，减少了系统工作中的不稳定因素，克服了同类调整机构模态低的缺点。

附图说明

图1为传统直顶式两维角度圆形调整架的侧视图；

图2为传统直顶式两维角度圆形调整架的立体图；

图3为本发明一实施例的反射镜调整装置的立体结构示意图；

图4为本发明一实施例的反射镜调整装置的侧面剖视图；

图5为本发明一实施例的反射镜调整装置的主视图。

具体实施方式

为使本发明的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。