[发明专利]一种晶圆运输车

权利要求书

1.一种晶圆运输车，包括底座、车身、两层搁板和升降驱动装置，所述搁板用于承载存放晶圆的晶盒，其特征在于：所述下搁板在升降驱动装置的驱动下可向上升起，具体地，所述上搁板由两块挡板铰接至一轴杆而组成，所述轴杆固定在车身的支架上，两块挡板可绕轴杆转动，并具有一展开状态和一收拢状态；所述的升降驱动装置包括两组滑轮，该两组滑轮固定在车身上，且每组滑轮上均跨设有拉绳，所述拉绳的一端固定在下搁板上，通过拉动拉绳的另一端可升起下搁板。

2.如权利要求1所述的晶圆运输车，其特征在于：所述下搁板的底部还设有活动金属柱，所述拉绳的一端连接至活动金属柱，通过拉动拉绳的另一端升起活动金属柱而托起下搁板。

3.如权利要求2所述的晶圆运输车，其特征在于：所述挡板底部开有两道滑槽，滑槽内设有滑动件，且每个滑动件与相应的活动金属柱之间通过一滑轮绳相连，所述挡板的底部与车身支架之间还通过阻尼弹簧连接。

4.一种晶圆运输车，包括底座、车身、两层搁板和升降驱动装置，所述搁板用于承载存放晶圆的晶盒，其特征在于：所述下搁板在升降驱动装置的驱动下可向上升起，具体地，所述晶圆运输车设有一侧车身，其上设有导轨，所述上搁板的一端通过一搁板支柱与下搁板固定连接，所述上、下搁板的另一端通过滑轮或滑块可沿车身上的导轨滑动；所述的升降驱动装置包括动力剪及其驱动固定部件，该动力剪的一端通过驱动固定部件安装在运输车底座上，另一端与下搁板相连，通过改变动力剪的张开角度可实现下搁板的上升与下降。

5.如权利要求4所述的晶圆运输车，其特征在于：所述的驱动固定部件包括螺杆、传动滑块、连接器和直流马达，所述螺杆通过螺杆固定座固定至运输车底座，所述动力剪的一端连接至传动滑块，所述传动滑块通过连接器连接至直流马达，所述传动滑块在直流马达的驱动下沿螺杆滑动，以改变动力剪的张开角度。

6.如权利要求4所述的晶圆运输车，其特征在于：所述的上、下搁板上还分别设有搁篱，用于将晶盒围在晶盒放置区域内，避免晶盒从搁板上摔落。

7.一种晶圆运输车，包括底座、车身、两层搁板和升降驱动装置，所述搁板用于承载存放晶圆的晶盒，其特征在于：所述下搁板在升降驱动装置的驱动下可向上升起，具体地，所述晶圆运输车设有一侧车身，其上设有导轨，所述上搁板由一框架、设置于框架上的前、后滑板及中央固定架构成，前、后滑板与中央固定架之间为中空，且前、后滑板可沿框架导轨同时朝向或者远离中央固定架滑动；所述运输车的前端还设有一搁板支架，上搁板固定在搁板支架上，下搁板的一端可沿搁板支架滑动；所述的升降驱动装置包括动力剪及其驱动固定部件，以及滑板驱动部件，该动力剪的一端通过驱动固定部件安装在运输车底座上，另一端与下搁板相连，通过改变动力剪的张开角度可实现下搁板升降，当下搁板上升时，由滑板驱动部件驱动前、后滑板向远离中央固定架的方向移动，当下搁板下降时，由滑板驱动部件驱动前、后滑板向靠近中央固定架的方向移动。

8.如权利要求7所述的晶圆运输车，其特征在于：所述的驱动固定部件包括螺杆、传动滑块、连接器和直流马达，所述螺杆通过螺杆固定座固定至运输车底座，所述动力剪的一端连接至传动滑块，所述传动滑块通过连接器连接至直流马达，所述传动滑块在直流马达的驱动下沿螺杆滑动，以改变动力剪的张开角度。

9.如权利要求7所述的晶圆运输车，其特征在于：所述的滑板驱动部件包括拉绳滑轮、滑板拉绳及拉力弹簧，该拉绳滑轮设置在中央固定架下方，滑轮上跨设有滑板拉绳，拉绳的一端固定在下搁板上，另一端分出两股，分别连接在前、后滑板上，所述拉力弹簧分别设置在前滑板与搁板支架之间，以及后滑板与车身之间。

10.如权利要求7所述的晶圆运输车，其特征在于：中央固定架到搁板支架的距离等于中央固定架到车身的距离，且该距离大于一个晶盒底盘的宽度。

11.如权利要求7所述的晶圆运输车，其特征在于：初始状态下，上、下搁板之间留有大于一个晶盒高度的距离，上搁板的前、后滑板到中央固定架的距离都等于晶盒底盘的宽度，从而前滑板与中央固定架一起支撑一个晶盒，中央固定架与后滑板一起支撑一个晶盒。

12.如权利要求7所述的晶圆运输车，其特征在于：所述的动力剪及其驱动固定部件也可采用手动装置来替换，该手动装置包括摇杆、连杆、摆杆、翘翘杆、翘翘杆的支架以及用于支撑抵顶下搁板的支杆，所述摇杆、连杆、摆杆、翘翘杆及支杆依次相互轴接；当摇杆向左摇动时，连杆按逆时针方向转动，带动摆杆向下运动，使得翘翘杆连接支杆的一端上升，从而由支杆顶起下搁板上升；当摇杆向右摇动时，连杆按顺时针方向转动，带动摆杆向上运动，使得翘翘杆连接支杆的一端下降，从而由支杆拉动下搁板下降。