[发明专利]一种大功率激光器装置

权利要求书

1、一种大功率激光器装置，其特征在于：包括圆管形光谐振腔、圆柱形内导体、圆管形外导体和射频电源；所述圆柱形内导体套在所述圆管形外导体内并形成同轴结构，所述圆管形光谐振腔处于所示内外导体的中间，在谐振腔内充入CO2、N2、He和Xe、CO、O2等气体，所述射频电源接通所示内外导体，使所示光谐振腔内的CO2产生激光。

2、根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述圆柱形内导体和圆管形外导体内部分布有冷却水管道进行冷却。

3、根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述光谐振腔由反射镜为环形凹面镜，输出镜为环形平面半透明(40％透光率左右)反射镜组成的稳谐振腔。

4、根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述光谐振腔由反射镜为环形凹面镜，输出镜为环形凹面半透明(40％透光率左右)反射镜组成的稳谐振腔。

5、根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述光谐振腔由反射镜为环形凹面镜，输出镜为环形螺旋半透明(40％透光率左右)反射镜(其结构类似弹簧垫圈)组成的稳-非稳谐振腔。

6、根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述光谐振腔由反射镜为环形螺旋反射镜(其结构类似弹簧垫圈)，输出镜为半透明(40％透光率左右)环形凹面镜组成的稳-非稳谐振腔。

7、根据权利要求3或4或5或6所述的装置，其特征在于还包括：圆锥外反射镜、平顶圆锥内反射镜和透光镜，所述透光镜安装在所述平顶圆锥内反射镜的平顶位置，所述圆锥外反射镜安装在所述光谐振腔输出镜侧的圆柱形内导体上，且圆锥在圆柱形内导体轴线上，所述平顶圆锥内反射镜安装在圆管形外导体上，并与圆锥外反射镜组成一对反射镜，用于反射环形激光束形成点激光束，所述环形激光束射入所述平顶圆锥内反射镜上，再反射到所述圆锥外反射镜上，且环形激光束的内圆环与圆锥外反射镜的锥顶重合，再由圆锥外反射镜反射通过所述透光镜输出点激光束。

8、根据权利要求3或4或5或6所述的装置，其特征在于还包括：由双曲面组成的外反射镜、由抛物面组成的内反射镜，所述双曲面组成的外反射镜安装在所述光谐振腔输出镜侧的圆柱形内导体上，且与圆柱形内导体同轴，所述抛物面组成的内反射镜安装在圆管形外导体上，并与双曲面组成的外反射镜组成一对反射镜，所述双曲面组成的外反射镜处于抛物面组成的内反射镜的焦点上，所述环形激光束入射到所述抛物面反射镜上，再反射到抛物面的焦点上，通过安装在所述焦点位置的双曲面反射形成点光束，再通过所述抛物面顶端的激光束输出窗输出激光束。

9、根据权利要求7或8所述的装置，其特征在于：所述光谐振腔所处的内外导体上镀一层陶瓷膜，并在所述陶瓷膜外镀上含铂-稀土催化剂或二氧化钛光催化材料，所述催化剂或光催化材料能有效促进CO和O反应生成CO2，同时将Nx转化为N2，从而维持激光原料气CO2-N2-He组成不变，进而循环利用。

10、根据权利要求7或8所述的装置，其特征在于：所述光谐振腔改成固体谐振腔，所述圆柱形内导体改成圆柱形泵浦光源，所述圆管形外导体改成管形内反射镜，射频电源改成所述泵浦光源的驱动器，光路不变组成光泵浦固体激光器。