[发明专利]使用掺杂聚合流体的压阻式应变计有效
申请号: | 200810137642.0 | 申请日: | 2008-07-02 |
公开(公告)号: | CN101339001A | 公开(公告)日: | 2009-01-07 |
发明(设计)人: | 郑庆祥;钞晨;张燕妮 | 申请(专利权)人: | 香港理工大学 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 高龙鑫 |
地址: | 中国香港*** | 国省代码: | 中国香港;81 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 掺杂 聚合 流体 压阻式 应变 | ||
1.使用掺杂聚合流体的压阻式应变计,其测量的伸长率可超过10%,所述应变计包括:
-硅衬底中的聚合物通路;
-插入所述通路中的掺杂聚合流体,所述掺杂聚合流体由非导电聚合物流体和导电粉末组成;以及
-所述聚合物通路两侧的电极。
2.如权利要求1所述的应变计,其中所述聚合物通路选自由丙烯酸酯/盐、丁基橡胶、碳氟化合物、氟硅氧烷、硫化物、丁二烯、苯乙烯丁二烯橡胶和树脂组成的组。
3.如权利要求1所述的应变计,其中所述非导电聚合物流体由式[R2SiO]n表示,其中R=甲基、乙基或苯基,n为1~100的整数。
4.如权利要求1所述的应变计,其中所述导电粉末选自碳黑粉末或金属粉末。
5.如权利要求1所述的应变计,其中所述非导电聚合物流体和导电粉末以0.5∶1~1∶3的重量比混合。
6.如权利要求1所述的应变计,其中所述通路的体积为1μL或以上。
7.制造如权利要求1~6任一项所述的使用掺杂聚合流体的压阻式应变计的方法,其包括以下步骤:
-制造聚合物通路以形成槽;
-气封所述槽;
-在所述聚合物通路中插入通气孔;
-注入掺杂聚合流体;
-在通气孔和注射孔插入电极;以及
-密封所述孔。
8.如权利要求7所述的方法,其中使用负性光刻胶涂料制造聚合物通路。
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