[发明专利]用于平板印刷仿真的系统和方法有效
申请号: | 200810178751.7 | 申请日: | 2004-09-07 |
公开(公告)号: | CN101419411A | 公开(公告)日: | 2009-04-29 |
发明(设计)人: | 叶军;卢彦文;曹宇;陈洛祁;陈恂 | 申请(专利权)人: | 睿初科技公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F1/14;G03F1/00;G06F17/50 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 王新华 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 平板 印刷 仿真 系统 方法 | ||
1.一种用于对平板印刷设计的平板印刷处理进行仿真的系统,所述系 统包括:
微处理器子系统,用以将所述平板印刷设计的至少一部分处理成基于 像素的位图表示,所述基于像素的位图表示包括像素数据,其中每个像素 数据代表了具有预定像素尺寸的像素;和
加速器,耦合并关联到所述微处理器子系统,用以执行基于像素的图 像处理,以使用像素数据生成所述平板印刷设计的空中图像的至少一部 分,其中所述加速器包括多个构造成并行地执行所述基于像素的图像处理 的专用集成电路(ASIC)、专用DSP集成电路和/或可编程门阵列。
2.如权利要求1所述的系统,其中所述基于像素的图像处理是计算 多数密集任务,而将所述平板印刷设计的至少一部分处理成基于像素的位 图表示指的是处理那些依赖于基于范例的那些计算。
3.如权利要求1所述的系统,其中所述基于像素的位图包括代表所 述平板印刷设计中的多个多边形的灰度级图像。
4.如权利要求1所述的系统,其中所述平板印刷设计包括分辨率增 强技术,且其中所述微处理器子系统将包括分辨率增强技术的位于所述设 计的至少一部分的多个多边形转换成所述多个多边形的基于像素的位图 表示。
5.如权利要求1所述的系统,其中所述加速器利用像素数据执行快 速傅立叶变换,用以生成所述空中图像的对应部分。
6.如权利要求1所述的系统,其中所述加速器还计算对应于由所述 平板印刷设计形成在晶片上的所述空中图像的所述部分的抗蚀剂图像。
7.如权利要求1所述的系统,其中所述加速器还计算对应于由所述 平板印刷设计形成在晶片上的所述空中图像的所述部分的抗蚀剂图像,其 中所述加速器使用所述平板印刷设计的所述基于像素的位图表示和表示 平板印刷工具的投影和照明的光学件的系数矩阵。
8.如权利要求7所述的系统,还包括处理系统,耦合所述微处理器 子系统和所述加速器,用以将所述晶片上的所计算的图像与所需的预定图 案作比较。
9.如权利要求7所述的系统,还包括处理系统,耦合到所述微处理 器子系统和所述加速器,用以使用所述晶片上的所计算的图像来确定所述 平板印刷设计的临界尺寸(CD)。
10.如权利要求7所述的系统,还包括处理系统,耦合到所述微处理 器子系统和所述加速器,用以使用所述晶片上的所计算的图像来确定所述 平板印刷设计的边缘布置。
11.如权利要求7所述的系统,还包括处理系统,耦合到所述微处理 器子系统和所述加速器,用以使用所述晶片上的图案来确定印刷灵敏度, 所述灵敏度是响应于改变代表平板印刷工具的投影和照明光学件的所述 矩阵的系数来计算的。
12.如权利要求11所述的系统,其中表示平板印刷工具的投影和照 明光学件的所述矩阵的所述系数代表聚焦、剂量、数值孔径、照明孔径和 像差中的一个或多个。
13.如权利要求12所述的系统,其中所述处理系统使用所述印刷灵 敏度来确定所述平板印刷工具的所述投影和照明光学件的一组参数。
14.如权利要求7所述的系统,还包括处理系统,耦合到所述微处理 器子系统和所述加速器,用以响应于所述晶片上的所计算的图案和所需的 预定图案之间的比较,来检测所述平板印刷设计中的误差。
15.如权利要求14所述的系统,其中响应于检测所述误差,所述处 理系统确定对所述平板印刷设计的修正以校正所述平板印刷设计中的所 述误差。
16.如权利要求1所述的系统,其中生成所述空中图像包括,对经过 投影光学件的和在经设计的照明机制下的空中成像路径建模。
17.如权利要求1所述的系统,其中生成所述空中图像包括,将用于 所述平板印刷处理的成像系统分解成多个相干成像系统。
18.如权利要求17所述的系统,其中所述相关成像系统包括传输交 叉系数(TCCs)。
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