[发明专利]无光罩式曝光系统

权利要求书

1.一种无光罩式曝光系统，其包括：

发光源，其用以发出光束；

第一准直器，其用以使所述光束形成准直光束；

第一反射镜，其用以改变来自所述第一准直器的光束的行进方向；

第二反射镜，其用以改变来自所述第一反射镜的光束的行进方向；

图案产生器，其可切换出多种图案，将来自所述第二反射镜的光束反射出对应的图案以形成图案化光束；

投射透镜，其可调整焦距，放大或缩小来自所述图案产生器的图案化光束；

第一杂散光过滤器，其用以滤除所述图案化光束内的杂散光；

衬底，其表面上具有光阻层，通过所述第一杂散光过滤器的图案化光束投射于所述光阻层上；

平台，其承载所述衬底；以及

控制装置，其电性连接到所述图案产生器，用以控制所述图案产生器所产生的图案。

2.根据权利要求1所述的无光罩式曝光系统，其中所述光束是紫外线光束或激光光束。

3.根据权利要求1所述的无光罩式曝光系统，其中所述图案产生器是数字微镜装置或硅基液晶。

4.根据权利要求1所述的无光罩式曝光系统，其中所述第一杂散光过滤器是中空圆筒状，且其内壁表面上具有设定的沟槽。

5.根据权利要求4所述的无光罩式曝光系统，其中所述第一杂散光过滤器的沟槽的剖视是三角形、锯齿形、梯形、方形或圆弧形。

6.根据权利要求1所述的无光罩式曝光系统，其中所述衬底是软性衬底。

7.根据权利要求1所述的无光罩式曝光系统，其中所述控制装置进一步电性连接到所述平台，用以控制所述平台的移动。

8.根据权利要求1所述的无光罩式曝光系统，其中所述控制装置是计算机。

9.根据权利要求1所述的无光罩式曝光系统，其进一步包括第二准直器，其位于所述第二反射镜与所述图案产生器之间，用以使来自所述第二反射镜的光束形成准直光束。

10.根据权利要求1所述的无光罩式曝光系统，其进一步包括第二杂散光过滤器，其位于所述第二反射镜与所述图案产生器之间，用以滤除来自所述第二反射镜的光束的杂散光。