[实用新型]分流式标准湿度发生器

权利要求书

1、一种分流式标准湿度发生器，包括，数据采集与控制装置、电源电路、机箱，其特征是：所述机箱内安装有增湿饱和器(3)和混合室(4)；氮气引入总管经一分支管与混合室(4)进口连接，该分支管上依次安装有电磁阀(1a)和质量流量控制器(1)，该总管的另一分支管上依次安装电磁阀(2a)、质量流量控制器(2)和止逆阀(2b)后，与增湿饱和器(3)的进口连接，增湿饱和器(3)的出口经管路与混合室(4)进口连接，混合室出口经管路将用于仪器检定或校准、含有标准湿度的气体引出机箱外。

2、根据权利要求1所述分流式标准湿度发生器，其特征是：所述氮气引入总管与增湿饱和器(3)进口之间还连接有两个分支管，且两个分支管上均依次安装有电磁阀、质量流量控制器和止逆阀。

3、根据权利要求2所述分流式标准湿度发生器，其特征是：所述氮气引入总管与增湿饱和器(3)进口之间的三个分支管上的三个质量流量控制器的量程分别为5标准毫升/分：50标准毫升/分、500标准毫升/分；氮气引入总管与混合室(4)之间分支管上的质量流量控制器的量程为2标准升/分。

4、根据权利要求1或2或3所述分流式标准湿度发生器，其特征是：所述增湿饱和器(3)为结构相同的两台：其进口设置在底部，出口设置在顶部，内腔装填有用作为增湿材料的纱布、且进口上设置有铜网分散器；前级增湿饱和器的出口经管路与后级增湿饱和器的进口连接。

5、根据权利要求4所述分流式标准湿度发生器，其特征是：所述后级增湿饱和器内设置有温度传感器(3g)和压力传感器(3f)。

6、根据权利要求5所述分流式标准湿度发生器，其特征是：所述后级增湿饱和器的上部出口处设置有铜网过滤器(3e)。

7、根据权利要求6所述分流式标准湿度发生器，其特征是：所述机箱外的氮气引入总管上还依次安装有5A分子筛干燥管和烧结金属过滤器。