[实用新型]收纳柜体结构

权利要求书

1、一种收纳柜体结构，其内部可供摆置一或多数供储存光掩膜的光掩膜盒，且光掩膜盒具有多个供进、排气的气阀，其特征在于该收纳柜体包含有：

一框架，框架具有至少一进气回路与至少一排气回路；

至少一承置单元，其设置于框架内，该承置单元上设有至少一连接前述进气回路的进气阀件与至少一连接前述排气回路的稳压阀件，其中稳压阀件具有一或多数流道孔，该稳压阀件的流道孔是跨设于光掩膜盒气阀的内、外，使得稳压阀件可同步吸排光掩膜盒容置空间与外部环境的气体。

2、根据权利要求1所述的收纳柜体结构，其特征在于其中所述承置单元具有供支撑光掩膜盒的承座，承座上形成有复数透孔，以避免微粒堆积。

3、根据权利要求1所述的收纳柜体结构，其特征在于其中所述的承置单元上设有一或多数供光掩膜盒卡掣限位的定位元件。

4、根据权利要求1、2或3所述的收纳柜体结构，其特征在于其中所述的承置单元上设有一或多数感应开关，供检知或记录光掩膜盒。

5、根据权利要求1所述的收纳柜体结构，其特征在于其中所述的进气阀件具有一中空的阀体，且阀体内部中段形成有一具较小通孔的隔片，该阀体内设有一可相对隔片通孔滑动的浮动杆，该浮动杆两端分别具有一较大径的抵顶部与一可穿出隔片的颈部，且颈部上束设有一可选择性封闭隔片通孔的密封垫圈，而浮动杆的抵顶部与隔片间顶撑有一弹簧，让浮动杆的密封垫圈可相对远离或紧贴隔片，达到让进气阀件可受气阀作用选择性导通或密封。

6、根据权利要求1所述的收纳柜体结构，其特征在于其中所述的稳压阀件具有一中空的阀体，且阀体顶面形成有一道较大径的凸环片，且阀体内部形成有一隔片，而同步跨接光掩膜盒气阀内、外部的流道孔是设置于隔片上。

7、根据权利要求6所述的收纳柜体结构，其特征在于其中所述的稳压阀件的隔片顶面并具有向上凸出的推杆，供选择性启闭光掩膜盒的气阀。

8、根据权利要求1、6或7所述的收纳柜体结构，其特征在于其中所述的光掩膜盒的气阀具有一中空的阀体，且阀体内部中段形成有一具较小通孔的隔片，该阀体内设有一可相对隔片通孔滑动的浮动杆，该浮动杆两端分别具有一较大径的抵顶部与一可穿出隔片的颈部，且颈部上束设有一可选择性封闭隔片通孔的密封垫圈，而浮动杆的抵顶部与隔片间顶撑有一弹簧，让浮动杆的密封垫圈可相对远离或紧贴隔片，达到让气阀可受进气阀件与稳压阀件作用选择性导通或密封的功效。