[实用新型]密封热处理装置及其机械手装置无效
| 申请号： | 200820152769.5 | 申请日： | 2008-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN201266014Y | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 徐亮 | 申请（专利权）人： | 上海广电光电子有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D5/00;F27D7/04;F27D3/00;H01L21/00;H01L21/677;B25J15/08 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 白璧华 |
| 地址： | 200233上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 密封 热处理 装置 及其 机械手 | ||
【权利要求书】：
1.一种密封热处理装置，包括多层放置基板用的装载层，加热器，用于固定装载层和加热器的框架，所述装载层的左右两侧和底部设置有金属夹，对每个装载层，所述框架上设置有相对应的可控门，所述加热器设置在框架底部，其特征在于，所述可控门设置在框架的顶端，所述基板及装载层在框架内竖直放置。
2.根据权利要求1所述的密封热处理装置，其特征在于，所述金属夹的内侧衬有耐高温橡胶。
3.根据权利要求1所述的密封热处理装置，其特征在于，所述密封热处理装置的左右底侧设置有热风循环泵。
4.一种用于如权利要求1所述的密封热处理装置的机械手装置，其特征在于，所述机械手装置包括两根水平放置的平行导轨，所述导轨位于热处理装置的前后两侧，所述平行导轨上竖立有两个可以移动的机械手，所述机械手上设置有滑槽及可以沿所述滑槽上下移动的支撑板，所述支撑板的末端设置有旋转驱动马达，所述支撑板上设置有真空吸附孔。
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