[实用新型]密封热处理装置及其机械手装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种热处理装置及其机械手装置，尤其涉及一种密封热处理装置及其机械手装置。

背景技术

在大多数的平板显示设备的生产过程中，基本上都需要使用到热处理装置。对于这些热处理装置，目前现有的密封材热处理装置的构造如图1所示，在框架11的底部设置有加热装置14，在加热装置14的上面依次以一定间隔放置多层放置基板用的装载层12，相应地，在框架11的一侧设置有和所述装载层12相对应的可控门13，所述可控门13为取放基板用的缝隙状的开口，所述基板通过机械手装置放入和取出，基板在热处理装置中水平放置，被规定温度的热风包裹，通过热风进行相应的热处理，也称为烧成。在框架11的另一侧设置有过滤网10。

由于基板是水平放置，机械手装置取拿基板时受到其自身重量的影响，机械手会出现弯曲，所以大部分现有技术的热处理装置，预测到机械手装置的弯曲，基板和基板之间的间距一般都不会很小，通常在70毫米到150毫米左右。近几年来，伴随着平板显示器件的大型化，作为被加热物的基板也有进一步大型化的趋势，这势必造成基板的重量更重，机械手的长度也更长，导致机械手的挠度和厚度都显著增大。基板和基板之间的间隔也就必须变得更大，从而带来了热处理装置大型化的问题。

通常，平板显示器是在净化房内进行生产的，所以，一旦装置大型化，则相应会带来净化房高度的增加，引起净化房整体的运行成本上升。如果保持净化房高度不变，则需要降低装载层的层数，扩大装载层之间的间隔的结构，导致热处理装置的热处理效率降低。

为了解决上述问题，公开号为CN1967118的中国专利公开了一种热处理装置，能够高密度加载被加热物，进行热处理，但是该装置为了防止基板变形，同时要承受较大重量，需要的滑动机构数量和支撑脚比较多，增加了设备复杂性，且基板入口处的滑动机构会影响到基板的放入，会降低节拍，影响热处理效率；而设置支撑脚处的基板显示区内，由于热容的不同，容易出现显示不均现象。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种热处理装置，能够高密度的装载被加热物，结构简单，便于热处理装置大型化且不降低热处理效率。

本实用新型所要解决的另一个技术问题是提供一种机械手装置，为上述热处理装置装载被加热物。

本实用新型为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种密封热处理装置，包括多层放置基板用的装载层，加热器，用于固定装载层和加热器的框架，所述装载层的左右两侧和底部设置有金属夹，对每个装载层，所述框架上设置有相对应的可控门，所述加热器设置在框架底部，其中，所述可控门设置在框架的顶端，所述基板及装载层在框架内竖直放置。

上述密封热处理装置中，所述金属夹的内侧可衬有耐高温橡胶。

上述密封热处理装置中，所述密封热处理装置的左右底侧可设置有热风循环泵。

本实用新型为解决上述技术问题还提供一种用于上述的密封热处理装置的机械手装置，其中，所述机械手装置包括两根水平放置的平行导轨，所述导轨位于热处理装置的前后两侧，所述平行导轨上竖立有两个可以移动的机械手，所述机械手上设置有滑槽及可以沿所述滑槽上下移动的支撑板，所述支撑板的末端设置有旋转驱动马达，所述支撑板上设置有真空吸附孔。

本实用新型对比现有技术有如下的有益效果：本实用新型提供的热处理装置通过在其顶端位置设置取放基板用的可控门，在设备内部对应地以一定间隔装载多层基板，基板及装载层在热处理装置内采用竖直放置方式，基板的支撑主要在左右两侧，基本不承受基板重量，数量可以很少，因此，本实用新型的热处理装置结构相对简单；其次，本实用新型可控门位于顶端位置而基板的支撑主要在左右两侧，支撑机构不影响基板的放入，不影响热处理效率；最后，由于基板显示区内无任何支撑机构，不容易出现显示不均现象。此外，由于机械手是竖直将基板放入装载层，所以重力方向和基板的放入方向平行，因此，不会因为基板的重力造成机械手的翘曲，所以机械手的厚度也不需要太厚，有利于降低装载层的间隔距离，从而能够高密度的装载被加热物，便于热处理装置大型化且不降低热处理效率。

附图说明

图1是现有的密封热处理装置的结构示意图。

图2是本实用新型的密封热处理装置的结构示意图。

图3是本实用新型的密封热处理装置及机械手装置的结构示意图。

图4是本实用新型实施例的装载层内部结构示意图。

图5是本实用新型实施例中的循环风向示意图。

图6是光刻垫料在彩膜基板上的位置示意图。