[实用新型]多重气流金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体

权利要求书

1.一种多重气流金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体，主要包括：反应气体A进气管道(1)、反应气体B进气管道(2)、反应气体C进气管道(3)、反应气体D进气管道(4)、喷淋口(8)、喷淋冷却腔(6)、喷淋冷却液进口(16)、喷淋冷却液出口(15)、载片盘(10)、衬底(11)、反应腔(14)、反应腔冷却腔(21)、反应腔冷却液进口(18)、反应腔冷却液出口(19)、整流罩(20)、排气口(13)、缓冲腔(7)、腔体外壳(17)、缓冲挡板(5)、支承轴(9)、加热器(12)，其特征在于所述反应气体A进气管道(1)从反应腔(14)顶端接入，反应腔(14)的下方设有载片盘(10)，载片盘(10)的上部设有喷淋口(8)与喷淋冷却腔(6)，反应气体B进气管道(2)，反应气体C进气管道(3)及反应气体D的进气管道(4)同轴包裹在反应气体A进气管道(1)的外壁上，反应气体B进气管道(2)出口位于反应气体A出口上方，反应气体C进气管道(3)出口位于反应气体B出口上方，反应气体D的出口位于缓冲腔(7)顶部，其中心轴线的周边，喷淋冷却液进口(16)与喷淋冷却液出口(15)安装于反应腔(14)与缓冲腔(7)之间，加热器(12)与反应腔(14)由整流罩(20)隔开，腔体外壳(17)内设有一层反应腔冷却腔(21)，载片盘(10)下部设有加热器(12)，排气口(13)位于反应腔(14)的底部。

2.根据权利要求1所述的多重气流金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体，其特征在于所述缓冲腔(7)的中间设有缓冲挡板(5)。

3.根据权利要求1所述的多重气流金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体，其特征在于所述喷林口(8)垂直于载片盘(10)，喷林口(8)的形状为孔或缝隙，其分布方式为圆周分布或阵列分布或散布，喷林口(8)与反应腔(14)的顶部平行或突出于反应腔(14)的顶部。

4.根据权利要求1所述的多重气流金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体，其特征在于所述可调节与喷淋口之间距离的载片盘(10)的上表面设有衬底(11)，载片盘(10)根据支撑轴(9)设置为固定型式或旋转型式。

5.根据权利要求1所述的多重气流金属有机物化学气相沉积设备的反应腔体，其特征在于所述加热器(12)为电阻加热或射频感应加热。

6.根据权利要求1所述的多重气体金属有机化合物化学气相沉积设备的反应腔体，其特征在于所述反应气体A进气管道(1)、反应气体B进气管道(2)、反应气体C进气管道(3)的出口部分管道为水平状，出口为鸟嘴形状。