[发明专利]电弧式蒸发源

权利要求书

1.一种电弧式蒸发源，其通过由磁场控制的电弧放电来使阴极的阴极物质蒸发，

所述电弧式蒸发源的特征在于，具备：

所述阴极；

磁场形成机构，其在所述阴极前端的蒸发面附近形成与阴极中心轴平行的方向的磁场，且配置在所述阴极的外侧；

支承机构，其支承所述阴极；

冷却机构，其冷却所述阴极；

锥形环，其形成圆锥台状，具有使所述阴极沿其轴向贯通的贯通孔，且配置成向着所述阴极的蒸发面逐渐变细，

所述锥形环由强磁性体构成，使用时所述锥形环的前端与所述阴极的蒸发面位于相同的面或位于比所述蒸发面靠后方的位置。

2.根据权利要求1所述的电弧式蒸发源，其特征在于，

在所述锥形环的圆锥面的表面具备绝缘体。

3.根据权利要求1所述的电弧式蒸发源，其特征在于，

在所述锥形环的圆锥面的前方具备环状的盖，所述环状的盖具有使所述阴极沿其轴向贯通的贯通孔并由顺磁质的金属或合金构成，且与周围电绝缘。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的电弧式蒸发源，其特征在于，

所述磁场形成机构由线圈、沿轴向具有磁极的圆筒型的永久磁铁或者具有铁心和线圈的电磁铁中的任意一种构成。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的电弧式蒸发源，其特征在于，

还具备使所述阴极沿其轴向进退的阴极输送机构。

6.根据权利要求4所述的电弧式蒸发源，其特征在于，

还具备使所述阴极沿其轴向进退的阴极输送机构。