[发明专利]通过汽相沉积方法结合真空层压来制备有机发光二极管无效
| 申请号： | 200880012838.5 | 申请日： | 2008-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101663773A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | G·F·盖特纳;H·F·博尔纳 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 龚海军;刘 红 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通过 沉积 方法 结合 真空 层压 制备 有机 发光二极管 | ||
1、一种制作有机发光二极管的方法，包括以下步骤：
提供第一和第二衬底；
从所述衬底去除尘埃粒子，
通过汽相沉积方法分别涂覆所述第一和第二衬底，以及
在真空下将所述第一和第二衬底层压在一起。
2、根据权利要求1的方法，其中去除所述衬底上的尘埃粒子包括对尘埃粒子充电以及在电场中去除充电的尘埃粒子的至少一部分。
3、根据权利要求1的方法，其中尘埃粒子通过在超纯水中超音波或超声清洗中的至少一种而被去除。
4、根据权利要求1的方法，其中去除所述衬底上的尘埃粒子包括：将所述衬底暴露于单独生成的等离子体，其中尘埃粒子在活性气体中被充电；并且将充电的尘埃粒子收集在粒子收集器中。
5、根据权利要求1、2、3或4的方法，其中第一衬底涂覆有阳极层和至少一个有机层，而第二衬底涂覆有阴极层和至少一个有机层。
6、根据权利要求5的方法，其中涂覆有阴极层和至少一个有机层的第二衬底包括涂覆有至少一个有机层的铝箔。
7、根据权利要求1、2、3或4的方法，其中仅第一衬底被涂覆。
8、根据权利要求7的方法，其中第一衬底包括阳极层、至少一个有机层和阴极层，而第二未涂覆的衬底包括导电的软材料。
9、根据权利要求1-8中任一项的方法，其中利用滚筒层压将衬底层压在一起。
10、根据权利要求1-8中任一项的方法，其中利用弹性印模将衬底层压在一起。
11、一种根据前述权利要求中任一项制作的有机发光二极管。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
