[发明专利]传送机器人的诊断系统

说明书

技术领域

本发明涉及利用了在现有的处理装置上设置的用于检测基板位置的传感器的低成本的传送机器人的诊断系统。

背景技术

以往，作为在基板上实施成膜处理、蚀刻处理等各种处理的装置，如图1所示，公知有如下所述地构成的处理装置(所谓的组合工具装置)：以包围配置了传送机器人1的中央的传送室A的方式，配置基板S的装载锁定室(load lock chamber)B和多个处理室C，针对通过传送机器人1将投入到装载锁定室B的基板S，在各处理室C或各处理室C的相互之间传送基板S。

传送机器人1包括机械臂11和驱动单元，所述驱动单元以在同一平面上回旋及伸缩自如地方式驱动上述机械臂11，在机械臂11的前端具有机械手12，该机械手12在载置了基板S的状态下对其进行支承。

在这种传送机器人1中，需要通过机械手12适当地保持位于预定位置上的基板S，并且将该基板S传送至作为目标的位置(例如各处理室C的基板工作台(未图示))，在适当的位置上交付。为此，传送室A与各处理室C的边界区域中，在其顶部、底部上设有光学传感器等检测单元2(参照图1(b))。

将基板S传送至作为目标的位置时，通过检测单元2，除了基板S的有无检测以外，还确认是否用机械手12精度良好地支承基板S，在弄清基板S的位置偏离的情况下，调节机械臂11的动作，以抵消该位置偏离量(例如参照专利文献1)

上述基板的位置偏离有可能是机械臂、构成对该机械臂进行驱动的驱动单元的电动机、轴承等部件的故障引起的。在这种情况下，即使在某个特定位置上调节机械臂的动作，位置偏离的测定精度和位置偏离的抵消动作精度也会降低，从而产生位置偏离。如放任传送机器人的位置精度降低而不管，则导致产品处理的不良、装置的故障，从而损失变大。另一方面，为了防止运转率的降低，期望的是捕捉固定的预兆并计划性地进行维护，但为了判断传送机器人的正常情况而设置了额外的传感器等部件，由此不仅导致装置结构变复杂，而且成本也变高。

专利文献1：日本特开2007-27378号公报

发明内容

本发明鉴于上述问题，其目的在于提供不导致部件件数的增加就能提高运转率的低成本的传送机器人的诊断系统。

为了解决上述问题，本发明的传送机器人的诊断系统，其特征在于，包括：传送机器人，包括在前端具有支承要处理的基板的机械手的机械臂以及驱动该机械臂的驱动单元；和至少一个检测单元，配置成当利用上述机械臂在多个处理室之间传送基板时，能检测由机械手支承的基板，在上述处理室之间通过机械臂传送基板时，如通过任意的检测单元检测到机械臂的预定部分时，取得由该检测单元检测出的机械臂的动作数据来制作基准值，当由上述检测单元检测出上述机械臂的预定部分时，取得此时的动作数据，将该动作数据与上述基准值进行比较，在超出预定的范围而发生变化时判断传送机器人的异常。

根据本发明，鉴于在为了实施各种处理而具有多个处理室的处理装置中，通过传送机器人传送基板时，通过检测具有支承基板的机械手的机械臂横穿为了检测该基板的有无、其位置而配置的检测单元而进行检测，利用该检测单元来判断传送机器人的正常情况。

即，通过任意的检测单元检测到机械臂的预定部分时，取得由该检测单元检测时的机械臂的动作数据，并制作基准值。然后，例如在传送机器人的初始动作等的预定的规定动作中、向基板S进行各种处理(生产)的过程中，在机械臂的上述预定部分被上述检测单元检测时取得此时的动作数据，将该动作数据与上述基准值进行比较，在超出预定的范围而发生变化时判断传送机器人的异常。

如此在本发明中，由于能利用现有的设备简单地判断传送机器人的正常情况，因而不导致部件件数的增加就可实现低成本。并且，当传送机器人动作到预定位置时，判断传送机器人的正常情况，从而能在早期捕捉异常发生的预兆而可进行计划性的维护，其结果，可提高运转率。

并且，在本发明中采用如下的结构即可：上述机械臂构成为至少在同一平面上回旋以及伸缩自如地被驱动，上述检测单元是配置成向上述平面垂直地投光的光学传感器。其中，例如为了交付基板，也可以适用机械臂上下移动地构成的结构。

也可以采用如下的结构：上述驱动单元是具有编码器的电动机，根据由检测单元检测出机械臂时的编码器的地址取得上述动作数据。

另一方面，也可以根据由上述检测单元的任一个检测出机械臂的预定部分后再由其他检测单元检测出机械臂的预定部分的时间或从传送机器人的动作开始指示至由上述检测单元的任一个检测出机械臂的预定部分的时间，取得上述动作数据。