[发明专利]用于半导体面板的具有清洗室的等离子体清洗设备

权利要求书

1.一种具有多个清洗室的半导体等离子体清洗设备，包括：

直立地平行布置的多个清洗室；

卸载单元，根据将其上装载有清洗对象的盒子接连地传送至每个清洗室前部的清洗进行情况，所述卸载单元可在上/下方向上移动；

多个第一推动器，安装至所述卸载单元，以便一个接一个地推动并排出由所述卸载单元朝着清洗室传送的盒子中所装载的清洗对象；

可转动传送单元，用于从所述卸载单元接收其中已排出所有清洗对象的空盒子，将所述空盒子水平地旋转180°，并将所述空盒子传送至等离子体清洗室的后部；

装载单元，用于从所述可转动传送单元接收空盒子，并将所述空盒子接连地传送至每个等离子体清洗室的后部，同时根据清洗进行情况从下侧移动至上侧；以及

第二推动器，用于将已完成清洗的清洗对象推动并装载到装载单元处的空盒子中。

2.根据权利要求1所述的设备，进一步包括：

第一定位单元，位于每个等离子体清洗室的前面，所述第一定位单元在横向方向上具有多个引导件，以便接连地定位由第一推动器从盒子排出的清洗对象；

第二定位单元，位于每个等离子体清洗室的后面，所述第二定位单元在横向方向上具有多个引导件，以便定位从所述等离子体清洗室排出的清洗后的清洗对象；

进料器，安装至所述第一和第二定位单元中的每一个，以将清洗对象向后移动至定位位置；以及

清洗对象传送装置，提供给所述第一定位单元，以将定位在所述第一定位单元上的清洗对象传送至相关的等离子体清洗室，或将清洗后的清洗对象传送至所述第二定位单元。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述进料器包括：

旋转轴，穿过所有的引导件；

驱动电机，用于向所述旋转轴提供旋转力；

进料带，安装至每个引导件，从而将移动至每个引导件的清洗对象放置在其上，以便从所述旋转轴接收旋转力，从而将进入的清洗对象供应至引导件的后面；以及

进料辊，用于将清洗对象的顶部向下压在所述进料带上。

4.根据权利要求2所述的设备，其中，所述清洗对象传送装置包括：

LM引导件，用于在第一定位单元和等离子体清洗室之间前后移动；

指臂，与所述LM引导件一起往复运动；以及

指部，可转动地安装于所述指臂，所述指部在上/下方向上选择性地用于，在所述指部向下旋转的状态中将所述第一定位单元上的清洗对象推动至相关的等离子体清洗室，或将已完成清洗的清洗对象推动至所述第二定位单元。

5.根据权利要求2所述的设备，其中，所述卸载单元包括：

传送器，用于接收盒子并将盒子传送至拾取位置，每个盒子具有从卸载单元的外部以规则间隔装载于其上的清洗对象；

夹紧装置，用于拾取由所述传送器传送至拾取位置的盒子；

升降机，其上安装有所述夹紧装置，以使所拾取的盒子朝着第一推动器竖直运动；以及

水平传送机器人，用于一步一步地移动所述升降机，从而将所述夹紧装置接连地定位在第一定位单元的每个引导件的前面。

6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述传送器包括：

传送器本体；

上装载器，位于所述传送器本体的后部，用于将由传送器本体传送的盒子定位于其上，并将所定位的盒子向上移动至拾取位置；以及

第一盒子传感器，用于感测盒子在上装载器上的定位，并向所述夹紧装置发送拾取信号。

7.根据权利要求2所述的设备，其中，所述装载单元包括：

夹紧装置，用于从所述可转动传送单元拾取空盒子；

升降机，具有安装至其上的夹紧装置，以便将由此拾取的空盒子竖直地移动至所述第二推动器；

水平传送机器人，用于一步一步地传送所述升降机，从而将夹紧装置接连地定位在第二定位单元的每个引导件的前面；以及

传送器，用于从所述升降机接收空盒子，并且在由所述第二推动器将全部清洗后的清洗对象装载在空盒子中的情况下，将空盒子排出至等离子体清洗设备的外部。