[发明专利]远距光谱仪的连接结构

说明书

技术领域

本发明是关于一种远距光谱仪的连接技术，特别是关于一种能够将安装于反应室内的通用串行总线(universal serial bus，USB)接口的光谱仪连接到光学模块控制器的远距光谱仪的连接结构，以将光谱仪产生的数据稳定地传输至光学模块控制器。

背景技术

一般来说，当多个光谱仪应用于需要大尺寸设备的制程(如液晶显示器生产线)中所使用的单个EPD控制器时，为了减少连接反应室观察端口(chamber view port)至EPD控制器的光纤的长度，光谱仪安装于反应室观察端口附近。

然而，光谱仪是通过RS-232或者USB接口方法传输数据。特别地，由于USB接口方法使用有效长度约为5米的电缆，当与EPD控制器间隔10至15米的光谱仪连接至一般USB电缆时，当从安装在反应室观察端口的光谱仪传输数据时可能发生通信错误。

为了解决数据通信错误，USB信号应被放大使得数据可在没有噪声的情况下传输到远距离。但是，由于公知技术中尚未揭示此类技术特征，因此提供本发明以解决上述问题。

发明内容

技术问题

为解决上述及/或其它问题，本发明的一方面提供一种远距光谱仪的连接结构，其能够通过USB服务器将EPD控制器连接至以USB接口形式安装于反应室内的远距光谱仪，以克服由USB电缆的有效长度产生的限制并且将光谱仪产生的数据稳定地传输至EPD控制器。

技术方案

本发明的上述和/或其它方面可以藉由提供如下远距光谱仪的连接结构来实现，该远距光谱仪的连接结构包括邻近设置于大尺寸制造设备内的反应室观察端口安装且连接至单个EPD控制器的多个光谱仪，其特征在于此多个光谱仪分别连接至设置于多个通道的多个USB设备服务器(USB device servers，UDS)，设置于各通道的各UDS连接至单个交换集线器(switching hub)，并且交换集线器连接至EPD控制器。

此外，为了通过具有独立IP地址的TCP/IP通信将光谱仪的数据传输至EPD控制器，UDS可藉由USB电缆连接至光谱仪以及藉由UTP(LAN)电缆连接至交换集线器，并且交换集线器可藉由UTP(LAN)电缆连接至EPD控制器。

进一步地，EPD控制器可包括USB 2LAN转换器，或者PCI Express Giga LAN。

有益效果

根据本发明，远距光谱仪的连接结构能够通过USB服务器将EPD控制器连接至以USB接口形式安装在反应室中的远距光谱仪，以克服由USB电缆的有效长度产生的限制并且将光谱仪产生的数据稳定地传输至EPD控制器，藉此提高对制程反应室发射的等离子发射的监测效率。

附图说明

为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式详细说明如下。

图1是根据本发明实施例的远距光谱仪的连接结构的方块图。

“主要元件符号说明”

10：EPD控制器

20：USB电缆

30：UTP(LAN)电缆

40：交换集线器

B1～Bn：光谱仪

CH1～CHn：USB设备服务器

具体实施方式

将参照附图详细描述本发明的示范性实施例，其范例绘示于附图中。

图1是根据本发明实施例的远距光谱仪的连接结构的方块图。

参照图1，根据本发明实施例的远距光谱仪的连接结构配置为将邻近设置于大尺寸制造设备内的反应室观察端口的多个光谱仪B1、B2、…、Bn连接至单个EPD控制器10，藉此在没有损耗的情况下传输多个光谱仪B1、B2、…、Bn的数据至EPD控制器10。

为此，多个光谱仪B1、B2、…、Bn与多个UDS CH1、CH2、…、CHn是1∶1匹配，并且分别藉由USB电缆20连接。

同时，分别连接至光谱仪B1、B2、…、Bn的各自通道的UDS CH1、CH2、…、CHn，通过UTP(LAN)电缆30连接至单个交换集线器40，而交换集线器40连接至包括USB 2 LAN转换器或者PCI Express Giga LAN的EPD控制器10。

结果，UDS CH1、CH2、…、CHn通过USB电缆20接收从光谱仪B1、B2、…、Bn传输的数据，然后通过UTP(LAN)电缆30传输数据至交换集线器40。因此，交换集线器40能够根据选择性交换操作，通过UTP(LAN)电缆30迅速地传输EPD控制器10所接收到的数据。