[发明专利]压电振动片及其制造方法、包括其的装置、晶圆及其夹具

权利要求书

1.一种利用晶圆一次制造多个压电振动片的方法，所述多个压电 振动片各包括由压电材料制成的压电板和形成在所述压电板的外表 面上的电极，所述电极用于当向其施加预定电压时使所述压电板振 动，所述方法包括：

外部形状形成步骤，利用光刻技术刻蚀所述晶圆，形成穿过所述 晶圆的两个或更多个通孔，并且利用所述通孔的中心构成参考点，在 所述晶圆上形成多个压电板的外部形状；

晶圆安置步骤，准备用于所述晶圆的夹具，所述夹具具有平板部 和插入销，所述插入销形成为其数量与所述通孔的数量相等，且从所 述平板部的上方突出，其后，在将所述插入销插入所述通孔的状态下 将所述晶圆安装在所述平板部上；

电极形成步骤，通过在所述多个压电板的外表面上图案化电极膜 而形成电极；和

切割步骤，进行切割以将所述晶圆上的所述多个压电板分离成片 段；

其中，在所述电极形成步骤和所述切割步骤中，通过利用所述通 孔的中心构成参考点，执行对所述晶圆的定位。

2.根据权利要求1所述的利用晶圆一次制造多个压电振动片的 方法，其特征在于，在所述外部形状形成步骤中，所述通孔形成为使 得当平面地观察所述晶圆时，所述通孔的角部由R形状构成。

3.根据权利要求1所述的利用晶圆一次制造多个压电振动片的 方法，其特征在于，在所述外部形状形成步骤中，所述通孔形成为当 平面地观察所述晶圆时构成圆形形状。

4.一种压电振动片，其由根据权利要求1至3中的任一项所述的 利用晶圆一次制造多个压电振动片的方法所制成。

5.一种压电振动器，其包括根据权利要求4所述的压电振动片。

6.一种振荡器，其包括作为振荡件而电连接至集成电路上的根据 权利要求5所述的压电振动器。

7.一种电子装置，其包括电连接至计时部分上的根据权利要求5 所述的压电振动器。

8.一种无线电波时计，其包括电连接至过滤部分的根据权利要求 5所述的压电振动器。

9.一种用于制造压电振动片的晶圆，所述压电振动片具有由压电 材料制成且具有恒定厚度的压电板和形成在所述压电板的外表面上 的电极，所述电极当向其施加预定电压时使所述压电板振动，所述晶 圆包括：

通过光刻技术刻蚀并穿过所述晶圆的两个或更多个通孔；和

多个压电板，通过利用所述通孔的中心构成参考点，所述多个压 电板的外部形状同时与所述通孔通过所述刻蚀形成；

其中，在直到制成所述压电振动片的时间点期间，所述通孔的中 心被用作参考点。

10.根据权利要求9所述的晶圆，其特征在于，所述通孔形成为 使得当平面地观察所述晶圆时角部由R形状构成。

11.根据权利要求9所述的晶圆，其特征在于，所述通孔形成为 当平面地观察所述晶圆时构成圆形形状。

12.一种用于保持根据权利要求9至11中的任一项所述的晶圆的 夹具，所述夹具包括：

平板部，其将所述晶圆安装在所述平板部的顶面上；和

插入销，其由能够被插入所述通孔中的尺寸构成，并且形成有与 所述通孔的数量相等的数量，从所述平板部的上方突出。

13.根据权利要求12所述的夹具，其特征在于，所述插入销形成 为使得其前端会聚。

14.根据权利要求12所述的夹具，其特征在于，所述插入销形成 为圆形柱的形状。